機械学習による深さ方向熱伝導率解析
集積回路やパワーデバイスなどの半導体デバイスにおける発熱密度の上昇は喫緊の課題となっている。デバイス動作時の熱物性を評価 ...
MEMS結合振動子を用いた機械学習の多元化
近年，高速かつ省消費電力な機械学習の実装方法として物理リザバーコンピューティング（PRC）が注目されています．本研究では ...
圧電円筒型振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型 ...
(100)単結晶シリコンリングジャイロ
近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性 ...
自己伝播発熱Al/Ni多層膜によるMEMS真空封止
熱ストレスの小さいMEMS真空封止技術を実現することを目的として，ナノスケール厚で積層させたAl/Ni膜の合金化反応熱を ...
二段電極型イオン液体ESスラスタ
超小型宇宙機に搭載可能な推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)の開発を行っています ...
Si振動子の時間分解顕微ラマン応力測定
顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコン面外振動試験片に生じる動的局所応力の時間分解測定を目的としています．動的応力の時間 ...
円筒型圧電振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型 ...
せん断型ひずみゲージ集積化 単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております．本研究では ...
電気等価回路を用いた静電櫛歯トランスデューサの解析
静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されて ...
フォノニック結晶導波路を用いたLoveモード表面弾性波デバイスの解析
表面弾性波（SAW）デバイスは高周波信号処理に広く用いられている。しかし、次世代アプリケーションの開発では、従来のSAW ...
単結晶へき開面ナノギャップMEMSデバイス
熱電子発電は，高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行う．エミッタとコレクタの距離をナノスケ ...