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静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されて ...
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近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chip ...
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超小型宇宙機に搭載可能な推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)の開発を行っています ...
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 本研究では優れた電気・機械的特性を持つ単層カーボンナノチューブ(SWCNT)のばらつきを含む特性評価を目的とし,SWC ...
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A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
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DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...
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カーボンナノチューブ(CNT)は興味深い特性を併せ持つことから微小な電気回路やセンサの構成要素としての応用が期待されてい ...
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シリコンナノワイヤ(SiNW)は機械的・電気的特性に優れたナノ構造体であり,NEMS(Nano Electro Mech ...
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 ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです.近年では車載用測距センサ用に用いられること ...
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眼底を観察する際に光の収差を補正するデバイスとして可変形状ミラーが用いられます.当研究室では従来の静電駆動による可変形状 ...
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MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され,製法によりデバイスの形状やコストの点 ...
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原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化,低消費電力化に加えて,測定性能の向上が期待されています.当研究室では ...