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近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている.そんな中小型、低価格、高性能であるMEMS圧電振動ジャイロが注目を集めている。先行研究では高性能が期待されるニオブ酸リチウムを ...

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近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性能であることから、注目を集めている。先行研究では、一般的に使用されている材料より加工コストが低い(100)単結晶シ ...

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A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyroscope (VRG) has bee ...

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MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.弾性特性,圧電特性において結晶異方性を有するニオブ酸リチウムでモードマッチングしたワイングラス振動を実現するため,最適 ...

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MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります.静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にするため,静電力を加え振動子の剛性を調節する手法です.本研究では(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの周波数 ...

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A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyroscope (VRG) with no ...

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単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.