円筒型圧電振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型、低価格、高性能であるMEMS圧電振動ジャイロが注目を集めている。先行研究では高性能が期待されるニオブ酸リチウムを ...
モードマッチ(100)Siリングジャイロ
近年、IoT社会の到来でセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS円環型振動ジャイロが注目されています。先行研究では、加工コストが低く材料特性のばらつきが小さい(100)単結晶シリコンを材料とした円環型振動子が開発されていま ...
円筒型圧電振動ジャイロ
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型、低価格、高性能であるMEMS圧電振動ジャイロが注目を集めている。先行研究では高性能が期待されるニオブ酸リチウムを ...
(100)単結晶シリコンリングジャイロ
近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性能であることから、注目を集めている。先行研究では、一般的に使用されている材料より加工コストが低い（100）単結晶シ ...
(100) Si円環型振動ジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyroscope (VRG) has bee ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．弾性特性，圧電特性において結晶異方性を有するニオブ酸リチウムでモードマッチングしたワイングラス振動を実現するため，最適 ...
リング型ジャイロの静電チューニング
MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります．静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にするため，静電力を加え振動子の剛性を調節する手法です．本研究では(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの周波数 ...
(100) 単結晶シリコン寸法補償同調型リングジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyroscope (VRG) with no ...