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A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyroscope (VRG) has bee ...

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MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.弾性特性,圧電特性において結晶異方性を有するニオブ酸リチウムでモードマッチングしたワイングラス振動を実現するため,最適 ...

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MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります.静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にするため,静電力を加え振動子の剛性を調節する手法です.本研究では(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの周波数 ...

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A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyroscope (VRG) with no ...

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単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.