シリコンナノワイヤを用いたねじり梁型共振ミラー

　ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです．近年では車載用測距センサ用に用いられることもありますが，そのためには性能と信頼性の向上が求められます．本研究ではミラーの小型化及びアレイ配置により性能を向上し，シリコンナノワイヤ（SiNW）のトップダウン作製手法を用いて支持梁の細線化を行うことで高信頼性化したデバイスの設計・製作を行っています．

【応用先】