MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling cooling
A microelectromechanical system (MEMS) is being developed fo ...
Diamond nanoresonators for sensing and information processing
Nanoresonators are capable of ultrasensitive sensing and eff ...
超小型人工衛星用イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発
超小型人工衛星に搭載可能な新たなスラスタとしてイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)が注目されている。ILE ...
単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験
ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは，ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデ ...
円筒型圧電振動ジャイロ
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型 ...
一本鎖DNA修飾によるSWCNTの高収率孤立架橋アセンブル手法
本研究では優れた電気・機械的特性を持つ単層カーボンナノチューブ(SWCNT)のばらつきを含む特性評価を目的とし，SWC ...
MEMSミラーアレイの同期振動手法開発
ねじれ梁型MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で，内視鏡・Lidar等の空間スキ ...
Nanoscale mechanical resonators for mass-sensing applications
A Nanoscale mechanical resonator can be used as an efficient ...
CNT-TFT応答電流による物理リザバー評価
物理リザバーコンピューティングは、時系列信号を低電力かつ高速で処理できる機械学習法です。本研究では、カーボンナノチューブ ...
シリコンナノワイヤ製ねじれ梁の寸法効果を利用した MEMSチルトミラーの高信頼化
ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです．近年では車載用測 ...
熱電子発電のためのナノギャップデバイス
単結晶シリコンのへき開破壊によるナノギャップ形成と，ギャップ間隔制御，電流計測が可能なデバイス
顕微ラマン分光を用いたへき開面ナノギャップの温度差測定
真空ナノギャップ電極は通常の物質では困難な熱発電効率を飛躍的に向上し得るとして注目されているが、従来の方法で作製できるナ ...