
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン微細構造の動的応力解析
振動する単結晶シリコン微細構造に負荷される瞬間ごとの応力の実験的な評価を目指しています。本研究は、単結晶シリコンを主な構 ...

薄膜材料の引張疲労試験・高温引張試験
材料のサイズが非常に小さくなると,その機械特性は従来のマクロスケールの材料とは異なります. しかしMEMSデバイスの構造 ...

マイクロ流路一体化MEMSデバイス
Siで構成されるMEMSアクチュエータと,構造を封止する透明材料の接合プロセスとして水蒸気プラズマ処理を用い,常温での異 ...