静電型ピストンアレイ駆動のMEMS可変形状ミラーの開発
眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形 ...
DLC膜で被覆したシリコンの引張試験
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising ...
ナノギャップ間の熱電界電子放出
熱電子発電では電極間に温度差を与え放出される電子を回収して発電を行う.通常熱電子発電には1000 ℃以上の高温が必要だが ...






