Al/Ni多層膜の自己伝播発熱反応を用いたMEMS振動デバイスの真空封止
角速度センサや共振ミラー等のMEMSデバイスを真空雰囲気に封止する新技術の研究を行っています。
MEMS リザバーコンピューティング
リザバーコンピューティング(RC)は学習コストが小さい機械学習手法であり, 分散された情報端末に実装することでネットワー ...
MEMSミラーアレイの同期振動手法開発
ねじれ梁型MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で，内視鏡・Lidar等の空間スキ ...
静電型ピストンアレイ駆動のMEMS可変形状ミラーの開発
眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため，リアルタイムかつ精密に補正する必要があり，その手法として，変形 ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．弾性 ...
二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ
Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
10×10静電容量型加速度センサアレイ
静電容量型加速度センサは携帯電話，自動車など幅広く利用されています．本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです．こ ...
熱電子発電のためのナノギャップデバイス
単結晶シリコンのへき開破壊によるナノギャップ形成と，ギャップ間隔制御，電流計測が可能なデバイス
Training MEMS devices for forecasting epileptic-seizures
Epilepsy is a chronic neurological disorder of the central n ...
幾何学的補償を用いた (100) 単結晶シリコンモードマッチ振動リングジャイロスコープ
MEMS gyroscopes for measuring rate or angle of rotation can ...
バルクSiとSOIで作製したマイクロミラーの信頼性
Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, ...
単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験
ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは，ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデ ...