学会発表

2024/1/21-25 The 37th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2024) (Austin, Texas)

Poster Session Monday, 22 January – 14:55 – 16:55

M21-b EXPLORING SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICES FOR SOUND-BASED RESERVOIR COMPUTING
Claude Meffan, Taiki Ijima, Amit Banerjee, Jun Hirotani, and Toshiyuki Tsuchiya

2023/1/15-19 The 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2023) (Munich, Germany)

Poster Session I Monday, 16 January 14:45 – 16:15

136-e IONIC LIQUID ELECTROSPRAY THRUSTER WITH TWO-STAGE ELECTRODES ON GLASS SUBSTRATE
Akane Nishimura¹, Yoshinori Takao², and Toshiyuki Tsuchiya¹
1 Kyoto University, JAPAN and 2 Yokohama National University, JAPAN

Poster Session III Wednesay, 18 January 14:00 – 15:30

321-b PHYSICAL RESERVOIR COMPUTING USING NONLINEAR MEMS RESONATOR HAVING HIGH MEMORY CAPACITY AT "EDGE OF CHAOS"
Hiroki Takemura, Takahiro Mizumoto, Amit Banerjee, Jun Hirotani, and Toshiyuki Tsuchiya
Kyoto University, JAPAN

2/2 2023 Symposium on User-Facility Network in Asia

14:05 “Nanotechnology Hub in Kyoto Univ. -Facility and Material Data Network Hub for Next-Generation Polymers & Multi-Materials”
Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto University, Japan

3/28-31 The 10th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems, INERTIAL 2023 (Kaua’i, Hawaii, USA)

2023/3/29 11:25-12:30: A2L-A MEMS Gyroscope

A2L-A-3 A New Design of MODE-Matched (100) Silicon Ring Gyroscope with Chamfered Rectangle Springs Immune to Fabrication Errors
Shuya Okayama, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya

5/14-17 The 18th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems: IEEE-NEMS2023 (Jeju, Korea)

Simulation Model to Characterize Volumetric Flow Rate Generated by Polydimethylsiloxane Peristaltic Micropump for Body-on-a-Chip
Jiandong Yang, Yoshikazu HIRAI, Ken-ichiro KAMEI, Osamu Tabata, Toshiyuki TSUCHIYA

5/25-27 第60回日本伝熱シンポジウム (福岡国際会議場)

5/25 H14 15:10-17:10 優秀プレゼンテーション賞セッション

H1401: トランスデューサ層パターニングによる周波数領域サーモリフレクタンス計測手法の高感度化
◯ 安倉 祐樹, BANERJEE Amit, 土屋 智由, 廣谷 潤 (京都大)

H1402: パリレン基板を用いたフレキシブル3ωセンサの作製と評価
◯ 山崎 瑠斗 (京都大), 松永 優希 (名古屋大), BANERJEE Amit, 土屋 智由, 廣谷 潤 (京都大)

6/25-29 The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems: Transducers 2023 (Kyoto, Japan)

Poster Session: Tuesday, 26 June 14:15 – 16:15

T4P.009 Micro-Fabricated Bi-Stable Mechanical Switch Actuated by Single Thermal Actuator
Jiacheng Liu¹, Yuma Ohara², Zerui Xu³, Ruizi Liu¹, Zhangshanhao Li³, Xiaohong Wang³, Toshiyuki Tsuchiya^2, and Man Wong¹
1 Hong Kong University of Science and Technology, HONG KONG, 2 Kyoto University, JAPAN, and 3 Tsinghua University, CHINA

T4P.077 Human Activity Recognition using Intelligent Resonant Accelerometer Employing MEMS Reservoir Computing
Takahiro Mizumoto, Amit Banerjee, Jun Hirotani, and Toshiyuki Tsuchiya
Kyoto University, JAPAN

9/3-6 日本機械学会 2023年度 年次大会 (東京都立大学 南大沢キャンパス)

[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性
2023年9月6日(水) 13:00 ~ 14:30 G（8号館1階）

[J224p-16] 物理リザバーコンピューティングへの実装を目的とした表面弾性波位相変調デバイスの開発
〇井嶋 泰貴¹、Robert Claude Meffan¹、Amit Banerjee¹、廣谷 潤¹、土屋 智由¹ (1. 京都大学)

9/18 Deep learning meets Neuromorphic Hardware (a Workshop of European Conference on Machine Learning and Principles and Practice of Knowledge Discovery in Databases) (Turin, Italy)

#104 Optimisation of a physical reservoir computer’s parameters using a genetic algorithm
Claude Meffan (Kyoto University); Taiki Ijima (Kyoto University); Amit Banerjee (Kyoto University); Jun Hirotani (Kyoto University); Toshiyuki Tsuchiya (Kyoto University)

9/25-28 49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023) (Berlin, Germany)

Track 2- Fabrication and Integration of Micro/Nano Structures, Devices and Systems
Wednesday, 27, 3:00pm – 4:15pm

O-S62-T2-1 Development of surface acoustic wave phase modulators for physical reservoir computing
Taiki Ijima, Claude Meffan, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya

Track3 – Micro/Nano Engineering for Life Sciences / Track4 – Micro/Nano Engineering for Physical and Chemical Applications
Wednesday, 27, 3:00pm – 4:15pm

O-S63-T3-1 Electrode Design Using Multi-Material Topology Optimization for Accurate Measurement of Trans-Epithelial Electrical Resistance in Organ-on-a-Chip
Haruki Goda, Naoyuki Ishida, Kozo Furuta, Kazuhiro Izui, Fred van Keulen, Ken-ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Yoshikazu Hirai

Poster Session2.1: Trak 2
Wednesday, 27, 4:15pm – 6:30pm

P-S21-76-T2 Synchronous vibration of 1×2 torsional micromirror array
Mikiya Oki, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya

P-S21-40-T2 Optimisation of a physical reservoir computer’s parameters using a genetic algorithm non-linear search
Claude Meffan, Taiki Ijima, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya

P-S21-71-T2 Ultrathin Si nanostring resonators with widely tunable dynamic behaviour
Amit Banerjee, Wei Yu, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya

11/6-9 Future Technologies from Kumamoto (熊本・熊本城ホール)

第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
2023/11/6 17:40-19:10 6P5 ポスターセッションI

6P5-PS-34 高性能小型圧電ジャイロスコープのための単結晶ニオブ酸リチウム円筒振動子の開発
*森田 健司{1}, 土屋 智由{1}, 荒屋 和貴{2}, 今村 恒彦{2}, 谷内 雅紀{3}, {1}京都大学, {2}多摩川精機, {3}多摩川モバイル電装

2023/11/8　13:50-15:20 8P2ポスターセッションIII

8P2-PS-9 静電駆動単結晶シリコンMEMSミラーの1×2アレイ同期振動
*大木 幹也, バネルジー アミット, 廣谷 潤, 土屋 智由, 京都大学

第14回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」

2023/11/6 13:10～15:10 機械学会マイクロ・ナノ工学部門、情報・知能・精密機器部門との連携企画
「MEMSデバイスの最新研究と応用技術(慣性センサ)」

MEMS慣性センサのいまとこれから　-本企画への期待を込めて-
土屋智由　京都大学

2023/11/6 17:40-19:10 6P5 ポスターセッションI

6P5-PN-14トランスデューサ層パターニングによる周波数領域サーモリフレクタンス計測の測定感度の向上
安倉 祐樹*, Amit Banerjee, 土屋 智由, 廣谷 潤，京都大学

6P5-PN-51 高温耐性p/n型ドーパントを用いたカーボンナノチューブ薄膜pn接合ダイオード
松永 優希*[1], 内山 晴貴[1], 大町 遼[1], 廣谷 潤[2]， [1]名古屋大学, [2]京都大学

2023/11/7 13:45-15:15 7P2 ポスターセッションII

7P2-PN-50 熱拡散率の非線形温度特性を用いた一次元サーマルリザバーコンピューティングにおける駆動条件の検討武田 侑大*, Amit Banerjee, 土屋 智由, 廣谷 潤京都大学

2023/11/8　13:50-15:20 8P2ポスターセッションIII

8P2-PN-10 反射率温度依存性を用いたレーザー光反射強度計測による表面温度の非接触測定
村上 大志*[1], 土屋 智由[2], 霜降 真希[2], 三宅 修吾[1]，[1]神戸市立工業高等専門学校, [2]京都大学

第15回「集積化MEMSシンポジウム」

共振型加速度センサを一体化したMEMSリザバーコンピューティングによる人間行動認識
千賀美咲^＊，水本昂宏，Amit Banerjee，廣谷潤，土屋智由　（京都大学）

面取り矩形支持ばねを用いた(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの理論解析
高橋　歩夢^＊，岡山修也，Amit Banerjee，廣谷潤，土屋智由（京都大学）

11/14-17 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023) (Keio Plaza Hotel Sapporo, Sapporo, Japan)

16P-1: Poster Session I (14:00-16:00, Nov. 16), Room P (Eminence Hall) (2F)
BioMEMS, Lab on a Chip, and Nanobiotechnology

16P-1-87
Developing a MEMS reservoir-computer for real-time epileptic seizure detection
Amit Banerjee, Shuto Kawaguchi, Claude Meffan, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto Univ., Japan

17B-2:Nano-devices IV (11:00-12:00, Nov. 17), Room B (Rose Room) (2F)

17B-2-1 11:00
Developing Effective Si Nanoresonator Devices for Ultrasensitive Gas Sensing
Wei Yu, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto Univ., Japan

1/9-13 The 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2022) (Tokyo, JAPAN, Hybrid)

Virtual Poster Session I Monday, 10 January 22:00 – 23:30
118-b OBSERVATION OF PULL-IN BY CASIMIR FORCE IN MEMS-CONTROLLED NANOGAP FABRICATED BY SILICON CLEAVAGE
Masaki Shimofuri, Yoshikazu Hirai, Amit Banerjee, and Toshiyuki Tsuchiya
Kyoto University, JAPAN

Virtual Poster Session II Tuesday, 11 January 05:00 – 06:30
209-b MEMS RESERVOIR COMPUTING USING FREQUENCY MODULATED ACCELEROMETER
Takahirio Mizumoto, Yoshikazu Hirai, Amit Banerjee, and Toshiyuki Tsuchiya
Kyoto University, JAPAN

Session XIV – Microfluidic Devices, Thursday, 13 January 13:30 – 14:30
13:45 FIELD EFFECT TRANSISTOR-LIKE CONTROL OF CAPILLARIC FLOW USING OFF VALVES
Claude Meffan, Julian Menges, Daniel Mak, Fabian Dolamore, Conan Fee, Renwick Dobson, and Volker Nock
University of Canterbury, NEW ZEALAND

2/28-3/4 The 33rd International Symposium on Space Technology and Science (ISTS 2022)

[B-7] Electrospray Thrusters / Advanced Micro Thrusters, Wed. Mar 2, 2022 4:00 PM – 5:00 PM
4:00 PM – 4:20 PM
[2022-b-28] Design and fabrication of ionic liquid electrospray thruster with two-stage electrodes
*Akane Nishimura1, Yoshinori Takao2, Toshiyuki Tsuchiya1 (1. Kyoto University, 2. Yokohama National University)

5/8-5/13 2022 MRS Spring Meeting (Honolulu, HI)

5/29-6/1 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 (APCOT 2022)

May 30, 9:15 -10:45, Session1

[Plenary] Toshiyuki Tsuchiya
MEMS Reservoir Computing -Sensors Become More Intelligent-

6/7-8 令和4年度 電気学会E部門 総合研究会

マイクロマシン・センサシステム/ケミカルセンサ/バイオ・マイクロシステム 合同研究会
（会場A）　6月8日（水）　11:10〜12:30　テーマ「合同セッション2」
MSS-22-019 CHS-22-013 BMS-22-018 加工誤差への耐性を有する(100)単結晶シリコンリング型ジャイロの開発
岡山 修也, 廣谷 潤, Amit Banerjee, 土屋 智由（京都大学）

6/29-30 International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications (Actuator 2022)

Thursday, June 30 09:00 – 12:40, B4 Actuator Control and Electronics

S. Xie, R. Liu, S. Okayama, T. Tsuchiya, M. Wong and X. Wang, “A Planar Single-Actuator Bi-Stable Mechanical/Electrical Switch," ACTUATOR 2022; International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications, 2022, B4-5

8/28-31 2022 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE 2022) (Nagoya, Japan)

Mon. Aug 29, 2022 2:00PM-3:15PM Room C Micro/Nano Mechanical Systems 3
[C1-3-04] Characterization of gap-distance dependency on field emission at nanogap between silicon cleavage surfaces by numerical calculations
*Yuki Akura¹, Masaki Shimofuri¹, Amit Banerjee¹, Jun Hirotani^1,2, Toshiyuki Tsuchiya¹ (1. Kyoto Univ., 2. JST PRESTO)

[C1-3-05] Fabrication and Dynamic Characterization of Ultrathin Si NEMS Resonators
*WEI YU¹, Amit Banerjee¹, Jun Hirotani¹, Toshiyuki Tsuchiya¹ (1. Kyoto University)

Tue. Aug 30, 2022 11:00 AM – 12:30 PM Room A Machine Learning and Intelligent Mechanical Systems 1
[A2-2-03] A non-linear SAW resonator as a reservoir computing node
*Claude Meffan¹, Amit Banerjee¹, Jun Hirotani¹, Toshiyuki Tsuchiya¹ (1. Kyoto University)

Tue. Aug 30, 2022 11:00AM-12:15PM Room C Micro/Nano Mechanical Systems 5
[C2-2-04] Alternating a-C:H Coating Effect on Torsional Strength of Silicon Beam for Micromirrors
*Yuanlin Xia¹, Amit Banerjee¹, Jun Hirotani¹, Toshiyuki Tsuchiya¹ (1. Kyoto University)

9/1-2 第59回炭素材料夏季セミナー

9月1日（木）　15:00〜16:20　学生ポスター発表
安倉祐樹（京都大学）
　P27「周波数領域サーモリフレクタンス法による熱物性計測手法の高精度化」

9/9-10 伝熱学会 関西支部　第１７回関西伝熱セミナー (京都)

真空ナノギャップを用いた熱電子発電実現に向けて
土屋　 智由 (京都大学)

9/11-14 日本機械学会 2022年度 年次大会 (富山大学)

[W221] 【部門発足10周年記念】マイクロ・ナノ工学の10年間と将来展望［マイクロ・ナノ工学部門企画］
9月13日(火) 13:00 ~14:30 Room 16（C22）

[W221-02] 部門20周年を予測する
土屋　 智由 (京都大学)

[J223] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 Ⅰ
2022年9月14日(水) 09:00 ~ 10:00 Room 8（B21）

[J223-01] 半導体へき開面ナノギャップにおける電界電子放出特性のギャップ間隔依存性の数値計算による評価
〇安倉 祐樹¹、霜降 真希¹、Banerjee Amit¹、廣谷 潤^1,2、土屋 智由¹ (1.京都大学、2.JSTさきがけ)

[J223] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 Ⅱ
2022年9月14日(水) 11:30 ~ 12:30 Room 8（B21）

[J223-08] 熱膨張アクチュエータによる変調機構を備えた環状結合非線形振動子群によるMEMSリザバーコンピューティング
〇武田 侑大¹、水本 昂宏¹、竹村 拓樹¹、Banerjee Amit¹、廣谷 潤¹、土屋 智由¹ (1.京都大学)

[J223p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性
2022年9月14日(水) 10:00 ~ 11:30 L

[J223p-05] 単結晶ニオブ酸リチウムを用いた円筒形圧電振動ジャイロスコープによる角速度検出
〇森田 健司¹、土屋 智由¹、荒屋 和貴²、今村 恒彦²、谷内 雅紀³ (1.京都大学、2.多摩川精機株式会社、3.多摩川モバイル電装株式会社)

[J223p-06] ガスセンサ用シリコンナノ共振器のアンカーロスの低減
〇王原 悠真¹、Banerjee Amit¹、廣谷 潤¹、土屋 智由¹ (1.京都大学)

9/19-23 MNE EUROSENSORS 2022 (Leuven, Belgium)
(Micro Nano Engineering)

Tuesday, 20 September, 17:00 Poster : T3-P1-TuA Poster Track 3 – Session 1
Venue – Foyer CAG (room 04.290) – BOARDS TRACK 3

Poster T3-P1-TuA-047 Neuroaccelerometer using reservoir computing with parametric nonlinear response
Takahiro Mizumoto, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya

Wednesday, 21 September, 15:15 Oral : T2-F-WeA Oral Track 2 – Session F – Inertial Sensors and Resonators – 75min
Venue – Groot Aula GA2 – 474 seats (room 04.14)

Mode-matched (100) single crystal silicon ring gyroscope robust to fabrication errors
Shuya Okayama, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya

11/8-11 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2022) (JR Hotel Clement, Tokushima)

Thursday, November 10, 13:30-14:50 10B-3: CNTs

14:30 10B-3-4: Highly temperature-tolerant p-type carbon nanotube transistor doped with 1,4,5,8,9,11-
hexaazatriphenylenehexacarbonitrile
Yuki Matsunaga¹, Jun Hirotani^2,3, Haruka Omachi¹, 1 Nagoya Univ., 2 Kyoto Univ. and 3 JST-PREST, Japan

Thursday, November 10, 9:30-11:30, Poster Session 1: Nanocarbons & 2D Materials

10P-1-2: Exfoliation of Al-residual Ti₃C₂T_x MXene by using tetramethylammonium bases and conductive film applications
Yuki Shibata¹, Emi Saita¹, Masaki Iwata¹, Yuki Matsunaga¹, Rie Suizu^1,2, Kunio Awaga¹, Jun Hirotani^2,3 and Haruka Omachi¹, 1 Nagoya Univ., 2 JST-PRESTO and 3 Kyoto Univ., Japan

11/14-16 Future Technologies from Tokushima (徳島・アスティとくしま)

第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

11月16日10:10-11:25 16A2-M バイオマイクロナノシステム

16A2-M-1 高精度な経上皮電気抵抗計測のためのトポロジー最適化による電極設計
*合田 晴紀¹, 石田 尚之¹, 古田 幸三¹, 泉井 一浩¹, Van KeulenFred², 亀井 謙一郎¹, 土屋 智由¹, 田畑 修³, 平井 義和¹ (1京都大学, 2Delft University of Technology,3京都先端科学大学)

第13回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」

11 ⽉14 ⽇（⽉） 17:30-19:00 14P5-P ポスターセッションI

14P3-PN-20: 熱伝導率の非線形温度特性を利用したサーマルリザバーコンピューティング
武田 侑大*, 水本 昂宏, Banerjee Amit, 土屋 智由, 廣谷潤 (京都大学)

11 ⽉15 ⽇（⽕） 13:40-15:10 15P2-P ポスターセッションII

15P2-PN-17 同期振動実現に向けたMEMSチルトミラーアレイの設計
大木 幹也*, 中村 友哉, Banerjee Amit, 廣谷 潤, 土屋 智由 (京都大学)

15P2-PN-55 レーザー光反射強度計測によるジュール加熱に伴うアルミ配線膜表面温度の非接触測定
村上 大志*[1], 土屋 智由[2], 三宅 修吾[1] ([1]神戸市立工業高等専門学校, [2]京都大学)

11 ⽉16 ⽇（⽔） 12:50-14:20 16P2-P ポスターセッションIII

16P2-PN-16 パルス電圧印加を用いた間隔可変単結晶シリコンナノギャップの電子輸送特性計測
霜降 真希*, 廣谷 潤, Banerjee Amit, 土屋 智由 (京都大学)

第14回「集積化MEMSシンポジウム」

11月 14 日（月） 13:00~14:30 14 P3 C センサ・アクチュエータ・材料

14P3 C 1 知能化共振加速度センサの記憶容量と感度の関係
水本 昂宏,　Banerjee Amit,　廣谷　潤,　土屋 智由（京都大学）

1/25-29 The 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2021)

HIGHLY ACCURATE MEASUREMENT OF TRANS-EPITHELIAL ELECTRICAL RESISTANCE IN ORGAN-ON-A-CHIP
Takashi Miyazaki¹, Jiandong Yang¹, Satoshi Imamura¹, Yoshikazu Hirai¹, Ken-ichiro Kamei¹, Toshiyuki Tsuchiya¹, and Osamu Tabata^1,2
1Kyoto University, ²Kyoto University of Advanced Science

1/28 第11回集積化MEMS技術研究ワークショップ（オンライン）

MEMSを用いた単結晶シリコンへき開面ナノギャップ
霜降真希, 平井義和, 土屋智由（京都大学）　

3/16-19　応用物理学会春季学術講演会

3/18 15:45 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
[18p-Z24-9] アルカリ金属生成用三次元構造を一括形成したMEMSガスセルの開発
〇(M)清瀬 俊¹, 平井 義和¹, 田畑修², 土屋 智由¹ (1.京大工, 2.京先端大工)

3/19 9:00 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学
[19a-Z08-1] カシミール-リフシッツ力が支配する単結晶シリコンナノギャップの最小空隙
〇(D)霜降 真希¹, 平井 義和¹, 土屋 智由¹ (1.京大工)

3/19 16:45 FS.1 フォーカストセッション「AIエレクトロニクス」
[19p-Z34-13]　周波数変調型加速度センサを用いたMEMSリザバーコンピューティング
〇(B)水本 昂宏¹, 平井 義和¹, 土屋 智由¹ (1.京大工)

5/17-18 化学とマイクロ･ナノシステム学会 第43回研究会（CHEMINAS43）

(5月17日) 14:50-16:50 ポスターセッション1
1P-06 心臓拍動を模倣した圧力刺激印加による肝オルガノイド成熟化を目指すマイクロ流体デバイス
三浦大知¹，平井義和¹，亀井謙一郎²，土屋智由¹ (1京 大院・工，2京大高等研究院物質－細胞統合システム拠点)

6/20-25 The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2021)

B2-2D1 MULTILAYERED MICROFLUIDIC DEVICE FOR CONTROLLABLE FLOW PERFUSION OF GUT-LIVER ON A CHIP
Jiandong Yang¹, Satoshi Imamura¹, Yoshikazu Hirai¹, Ken-ichiro Kamei¹, Toshiyuki Tsuchiya¹, and Osamu Tabata^1,2
1Kyoto University, Kyoto, JAPAN and 2Kyoto University of Advanced Science, Kyoto, JAPAN

B5-5D3 GRAVITY AND FILM STRESS ANALYSIS FOR MEMS DEFORMABLE MIRROR WITH ELECTROSTATIC PISTON ARRAY
Toshiyuki Tsuchiya¹, Toshiki Ema¹, Yoshikazu Hirai¹, Christopher Welham² and Hideyuki Maekoba²
1 Kyoto University, Kyoto, JAPAN, 2 Coventor, A Lam Research Company

B5-507a HIGH DURABILITY LATCH-LOCK BI-STABLE SWITCH ON Y-SHAPED CANTILEVER
Zili Tang¹, Qi Tao², Zehua Lan³, Zong Liu¹, Toshiyuki Tsuchiya⁴, Xiaohong Wang³, and Man Wong¹
1 Hong Kong University of Science and Technology, HONG KONG, 2 China Academy of Engineering Physics, Beijing, CHINA, 3 Tsing Hua University, Beijing, CHINA, 4 Kyoto University, Kyoto, JAPAN

B2-2A6 A PLANAR SINGLE-ACTUATOR BI-STABLE SWITCH BASED ON HOOKLESS MECHANISM
Zehua Lan¹, Qi Tao², Zili Tang³, Toshiyuki Tsuchiya⁴, Man Wong³, and Xiaohong Wang¹
1Tsinghua University, CHINA, 2China Academy of Engineering Physics, CHINA,
3Hong Kong University of Science and Technology, CHINA, and 4Kyoto University, JAPAN

[Just-in Press Session]

B6-JI1A1 MICROFABRICATED ALKALI METAL VAPOR CELLS FILLED WITH AN ON-CHIP DISPENSING COMPONENT
Shun Kiyose¹, Yoshikazu Hirai¹, Osamu Tabata², and Toshiyuki Tsuchiya¹
1Kyoto University, JAPAN and 2Kyoto University of Advanced Science, JAPAN

[TUTORIAL] Short Course 1: KEY TECHNOLOGIES AVAILABLE IN NANOFABRICATION CENTERS WORLDWIDE

SC1-2T1 FABRICATION OF CYCLO-OLEFIN POLYMER-BASED MICROFLUIDIC DEVICE USING WATER VAPOR PLASMA ACTIVATED BONDING
Toshiyuki Tsuchiya
Kyoto University, JAPAN

9/5-8 機械学会年次大会(Online)

J223 マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 I
2021年9月7日(火) 09:15 ~ 10:30 Room 18

[J223-01] 単結晶シリコンへき開面ナノギャップ間の熱電界電子トンネリング計測
〇霜降 真希¹、吉村 光葵¹、文 和彦¹、平井 義和¹、Banerjee Amit¹、土屋 智由¹ (1.京都大学)

[J223-02] a-C:H交互多層膜を被覆したSi微小構造体の引張強度特性
〇夏 園林¹、平井 義和¹、土屋 智由¹ (1.京都大学)

J223 マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 II
2021年9月7日(火) 10:45 ~ 12:00 Room 18

[J223-06] 単結晶シリコンねじり振動子の強度に及ぼす梁加工プロセスの影響評価
鈴木 誠¹、薛 沛東¹、平井 義和¹、〇土屋 智由¹ (1.京都大学)

9/20-23 Micro and Nano Engineering Conference (Turin, Italy / Hybrid)

Session C1: MEMS/NEMS Technology
Tuesday, September 21 10:45am CET

11:45am Wineglass mode MEMS gyroscopes with single crystal materials (INVITED)
Toshiyuki Tsuchiya (Kyoto University)

10/26-29 34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021) (Online)

29C-3: Microsystem Technology and MEMS Session III
Friday, October 29 13:30-14:50

13:30 29C-3-1 SOI-MEMS device for fabrication and physical properties measurement of single-crystal silicon nanogap with (111) cleavage plane surfaces
Masaki Shimofuri, Yoshikazu Hirai, Amit Banerjee and Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto Univ., Japan

11/9-11 Future Technologies from Himeji (Online)

第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

11 月 9 日（火） 10:50-12:20 9A3-SS3 フィジカルセンサ
9A3-SS3-3 リング型振動ジャイロスコープにおける静電チューニングのワイングラスモード回転への影響評価
岡山 修也 *, 平井 義和 , バネルジー アミット , 土屋 智由
京都大学

11 月 10 日（水） 13:00 14:30 10P2-SS1 ファイナリストセッション 4
10P2-SS1-2 GUT LIVER ON A CHIP WIT H CONTROLLABLE FLOW PERFUSION VIA MULTILAYERED MICROFLUIDIC DEVICE
楊 建東 *{1}, 今村 聡 {1}, 平井 義和 {1}, 亀井 謙一郎 {1}, 土屋 智由 {1}, 田畑 修 {1}
{1}京都大学 , {2} 京都先端科学大学

11 月 10 日（水）13:00-14:30 10P2-SS2 設計・製作技術，材料 2
10P2-SS2-5 イオン液体エレクトロスプレースラスタのための二段電極構造の作製
西邑 亜香音 {1}, 鷹尾 祥典 {2}, 土屋 智由 {1}
{1}京都大学 , {2} 横浜国立大学

11 月 10 日（水） 13:00-14:30 10P2-SS-3 センサ・アクチュエータシステム
10P2-SS3-6 MEMS振動子アレイの動的応答を利用した時系列信号処理
竹村 拓樹 *, 平井 義和 , Banerjee Amit, 土屋 智由
京都大学

第12回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」

11 月 11 日（木) 13:00-14:30 11P2-MN1オンデマンドセッション 3
11P2-MN1-10 単結晶ニオブ酸リチウムを用いたディスク型圧電振動ジャイロのFTR 制御
銭 進 *{1}, 荒屋 和貴 {2}, 谷内 雅紀 {3}, 土屋 智由 {1} {1}京都大学 , {2} 多摩川精機 , {3} 多摩川モバイル電装

第13回「集積化MEMSシンポジウム」

11月 10 日（水) 9:55-11:25 10A3-AP 加速度センサ・振動計測・リザバーコンピューティング
10A3-AP-5 周波数変調型加速度センサを用いたMEMS リザバ ーコンピューティング
水本 昂宏 *, 平井 義和 , 土屋 智由, 京都大学

9/1　電気学会基礎・材料・共通部門大会

企画セッション：スマート社会・ライフサイエンス応用に向けたセンサ・マイクロマシンの研究動向
1-A-p1-5 【招待講演】圧電ディスク型ニオブ酸リチウム振動ジャイロスコープ
○土屋智由(京都大学), 荒屋和貴(多摩川精機), 谷内雅紀(多摩川モバイル電装)

9/8,9　応用物理学会秋季講演会

9/8 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」
[8a-Z09-9] 単結晶シリコン(111)へき開面ナノギャップ間の熱輸送測定
〇(D)霜降 真希¹、平井 義和¹、土屋 智由¹ (1.京大工)

9/9　17 ナノカーボン » 17.2 グラフェン
[9p-Z29-5] Electrical characterization of suspended graphene nanoribbons fabricated by b-HF free process
〇AMIT BANERJEE¹、Osazuwa Agbonlahor¹、Manoharan Muruganathan¹、Hiroshi Mizuta¹ (1.JAIST)

9/15 機械学会年次大会(Online)

J223 マイクロ・ナノ機械の信頼性
J22309 Al/Ni 発熱多層膜を用いた真空封止技術におけるMEMS 振動子による真空度評価
　◯松本 有紀子（京都大），児玉 健太（KUAS），生津 資大，土屋 智由（京都大）
J22316 静電駆動MEMS デバイスを用いた単結晶シリコンへき開面ナノギャップの熱輸送間隔依存性計測
　◯霜降 真希（京都大），平井 義和，土屋 智由
J22317 単結晶シリコンの真空中へき開によるナノギャップ創成とその清浄破断面間の電界電子放出測定
　◯文 和彦（京都大），霜降 真希，平井 義和，土屋 智由
J22318 単結晶シリコンのへき開破壊を用いた真空ナノギャップ間の熱電子放出測定用デバイスの作製
　◯吉村 光葵（京都大），土屋 智由，平井 義和

9/17-18 第30回 マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES2020)
(パナソニックリゾート大阪、Online)

9/18 先端実装技術
13:40 2B4-3電流密度解析を用いた経上皮電気抵抗計測用微小電極アレイの設計
宮崎貴史. 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由(京都大学), 田畑修(京都先端科学大学)

9/27-30 Virtual IEEE NEMS 2020 (Online)

IS8: Micro/Nano Engineering for Advanced Bio/Medical Systems Tuesday, September 29 11:20 -13:00 (日本時間9/30 0:20-2:00)

IS8.6 (Invited) Microfluidic platform fabricated by three-dimensional lithography enables drug test and disease modeling in vitro
Yoshikazu HIRAI, Kyoto Univ., Japan

10/4-9 μTAS2020 (Online)

e – Cells, Organisms and Organs on a Chip -Organs on Chip
T3-353.e HEART-LIVER ON A CHIP INTEGRATED WITH A MICROELECTRODE ARRAY TO MONITOR EXTRACELLULAR FIELD POTENTIALS OF CARDIOMYOCYTES
Dongxiao Zhang¹, Yoshikazu Hirai¹, Ken-ichiro Kamei¹, Osamu Tabata^1,2, and Toshiyuki Tsuchiya^1
1Kyoto University, JAPAN and ²Kyoto University of Advanced Science, JAPAN

10/26-28 Future Technologies from Kumamoto (Online)

第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

10/27 10:10~11:40 マイクロナノシステム1
27A2-SS2-4 イオン液体エレクトロスプレースラスタの二段電極作製に向けたガラス貫通加工の検討
西邑 亜香音*¹, 鷹尾 祥典², 土屋 智由¹ 1 京都大学, 2 横浜国立大学

10/27 12:50~14:20 ファイナリストセッション 4
27P2-SS1-3 経上皮電気抵抗測定の高精度化に向けたOrgans-on-a-Chipの設計法
宮崎 貴史*¹, 平井 義和¹, 亀井 謙一郎¹, 土屋智由¹, 田畑 修^1,2 1 京都大学, 2 京都先端科学大学

10/27 14:30~16:00 ポスターセッション
27P3-SSP-10 Si/COP水蒸気プラズマ接合によるMEMS・マイクロ流路一体化デバイス
竹村 拓樹*, 平井 義和, 土屋 智由 京都大学

10/27 16:10-18:20 FT合同招待セッション
27P4-FT-1DNAオリガミを利用したSERS分析用金ナノ粒子二量体の形成とその固定化技術
山下直輝 京都大学

第11回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」

10/26 13:05~14:05 医療・バイオ 1
26P2-MN1-2 細胞外電位計測を目的としたパリレン製微小電極アレイのボディ・オン・チップへの集積
張 東暁, 平井 義和*, 亀井 謙一郎, 田畑 修, 土屋 智由 京都大学

化学とマイクロ・ナノシステム学会 第42回研究会（Cheminas42）

10/27 10:10~11:40 セッション2
2P20 非アルコール性脂肪性肝疾患を再現する肝臓-小腸・オン・チップ
○亀井 謙一郎¹, 楊 建東¹, 飯田 慶¹, 寺田 志穂¹, 土屋 智由¹, 田畑 修², 平井 義和¹ 1 京都大学, 2 京都先端科学大学

11/9-12 MNC2020 (Online)

5-1: Microsystem Technology and MEMS I
2020-5-8 Microfabricated Vapor Cells with Monolithically Integrated Alkali Metal Dispensing Component
Shun Kiyose¹, Yoshikazu Hirai¹, Osamu Tabata^1,2, Toshiyuki Tsuchiya¹ (1 Kyoto Univ., 2 Kyoto Univ. of Advanced Sci.)

5-3: Microsystem Technology and MEMS III
2020-5-22 Tensile Strength of Single-Crystal Silicon Microstructure with Stepwise Bias-graded a-C:H Coating
Yuanlin Xia, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya (Kyoto Univ.)

2020-5-23 Ionic Liquid Electrospray Thrusters with Uniform Needle-Emitter Arrays for Precise ThrustControl
Fumiya Tachibana¹, Toshiyuki Tsuchiya² and Yoshinori Takao¹ (1 Yokohama Natl. Univ., 2 Kyoto Univ.)

11/20 第31回プラズマエレクトロニクス講習会

プラズマプロセスにより作製するMEMSデバイスの最近の動向
京都大学 土屋 智由

11/26-28 5th International Conference on Emerging Electronics (IEEE-ICEE2020)

MEMS NEMS AND MICROFLUIDICS

[Invited lecture 5] Single-Crystal Lithium Niobate Piezoelectric Vibratory Disk Gyroscope
Toshiyuki Tsuchiya (Kyoto Univ., Japan)

11/27-12/4 2020 Virtual MRS Spring/Fall Meeting & Exhibit

S.SM01.02: Organ on a Chip

S.SM01.02.02 In Vitro Modeling of Non-Alcoholic Fatty Liver Disease by Integrated Gut-Liver on a Chip Jiandong Yang¹,Yoshikazu Hirai¹,Ken-ichiro Kamei¹,Marika Trumm^2,1, Toshiyuki Tsuchiya¹,Osamu Tabata¹
Kyoto University¹,Heidelberg University²