学会発表
11/21-22 The 2024 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK 2024), Ryukoku Univ., Kyoto, Japan
Thursday, Nov. 21, 11:20-12:20
Session 1: Silicon
12:00-12:20
R01 MEMS resonator-based reservoir computing for epileptic seizure prediction
Shuto Kawaguchi, Amit banerjee, Jun Hirotani, and Toshiyuki Tsuchiya (Kyoto University)
11/25-28 Future Technologies from Sendai (仙台・仙台国際センター展示棟)
11 ⽉25 ⽇(⽉)
11:20-12:50 25A4-A フラッシュプレゼンテーションI
17:10-18:40 24P4-P ポスターセッションI
25P4-PN-53
レーザー光反射強度測定を用いた単結晶シリコンへき開面ナノギャップの熱輸送間隔依存性評価
霜降真希*[1],村上大志[2],三宅修吾[2],AmitBanerjee[1],廣谷潤[1],土屋智由[1]
[1]京都大学,[2]摂南大学
11 ⽉26 ⽇(火)
9:20-10:50 25A2-M フラッシュプレゼンテーションII
11:00-12:30 25A3-P ポスターセッションII
26A3-PN-10
反射率温度依存性を用いた2波長レーザー光反射強度計測による表面温度の非接触測定
村上大志*[1],霜降真希[2],土屋智由[2],三宅修吾[1]
[1]摂南大学,[2]京都大学
26A3-PN-24
(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロにおける矩形支持ばねを用いた共振周波数とQ値の同時マッチング
高橋歩夢*,霜降真希,Amit Banerjee,廣谷潤,土屋智由
京都大学
26A3-PN-54
表面弾性波リザバーへの応用に向けた熱音響位相変調器の開発
井嶋泰貴*,Meffan Claude,Amit Banerjee,廣谷潤,土屋智由
京都大学
11 ⽉26 ⽇(火)
14:15-15:45 26P2-A フラッシュプレゼンテーションIII
15:55-17:25 26P3-P ポスターセッションIII
26P3-85
半導体カーボンナノチューブ薄膜へのポリマー塗布による物理リザバー素子の性能増強
松永優希*[1],内山晴貴[1],大町遼[2],廣谷潤[3]
[1]名古屋大学,[2]和歌山県立医科大学,[3]京都大学
11 ⽉ 27 ⽇(水)
13:50-15:20 Future Technologies 合同招待セッション
単結晶シリコンへき開面ナノギャップMEMSの開発とその物性評価手法
霜降真希
京都大学
Dec. 1-6, 2024 2024 MRS Fall Meeting & Exhibit (Boston, MA)
SYMPOSIUM NM01:Nanotubes, Graphene and Related Nanostructures
SESSION NM01.05: Poster Session I
Tuesday Afternoon, December 3, 2024 8:00PM – 10:00PM Hynes, Level 1, Hall A
NM01.05.09
Carbon Nanotube Thin Film pn Junction Diode with High Temperature Tolerance Using Chemical Dopants
Yuki Matsunaga1,Haruki Uchiyama1,Haruka Omachi2,Jun Hirotani3
Nagoya University1,Wakayama Medical University2,Kyoto University3
SYMPOSIUM EL03: 2D Materials—Nanofabrication and Applications
SESSION EL03.10: Hybrid and Flexible 2D Materials I
Wednesday Afternoon, December 4, 2024 Sheraton, Second Floor, Back Bay C
EL03.10.02
A Highly Sensitive Flexible Humidity Sensor Based on Ti3C2Tx MXene/Bentonite Thin Film
Hiroya Morotomi1,Yuki Matsunaga2,Lijun Liu3,Hisashi Sugime4,Jun Hirotani1
Kyoto University1,Nagoya University2,Osaka University3,Kindai University4
SYMPOSIUM SB06: 2D Materials for Theranostics
SESSION SB06.05: Poster Session: 2D Materials for Theranostics
Thursday Afternoon, December 5, 2024 8:00PM – 10:00PM Hynes, Level 1, Hall A
SB06.05.10
Thermal Conductivity Measurement of Ti3C2Tx MXene Thin Film Using Frequency-Domain Thermoreflectance
Yuki Akura1,Yuki Matsunaga2,Hiroya Morotomi1,Masaki Shimofuri1,Amit Banerjee1,Toshiyuki Tsuchiya1,Jun Hirotani1
Kyoto University1,Nagoya University2
Jan 22-26, 2025 The 38th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2025) (Kaoshiung, Taiwan)
Poster Session
Improved Learning Performance in Physical Reservoir Computing using Coupled Triple MEMS Nonlinear Resonators
Kosuke Shima, Hiroki Takemura, Masaki Shimofuri, Amit Banerjee, Jun Hirotani and Toshiyuki Tsuchiya
Department of Micro Engineering, Kyoto University, JAPAN
終了したもの
1/21-25 The 37th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2024) (Austin, Texas)
Poster Session Monday, 22 January – 14:55 – 16:55
M21-b EXPLORING SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICES FOR SOUND-BASED RESERVOIR COMPUTING
Claude Meffan, Taiki Ijima, Amit Banerjee, Jun Hirotani, and Toshiyuki Tsuchiya
3/25-28 The 11th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems, INERTIAL 2024 (Hiroshima, JAPAN)
Wednesday March 27th, 2024 16:55-18:00: B4P-B Poster Session II
Single Crystal Lithium Niobate Cylindrical Resonator for High-Performance Miniature Piezoelectric Gyroscope
Kenji Morita, Toshiyuki Tsuchiya, Kazutaka Araya, Tsunehiko Imamura, Masanori Yachi
Theoretical Analysis of (100) Silicon Ring Gyroscope with Chamfered Rectangle Springs
Ayumu Takahashi, Shuya Okayama, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
5/29-31 第61回日本伝熱シンポジウム (神戸国際会議場)
5/29 15:10-17:10 優秀プレゼンテーション賞セッション
BPA19: 周波数領域サーモリフレクタンスにおける機械学習を用いた深さ方向の熱伝導率分布推定
◯ 池田 尉昭, 安倉 祐樹, BANERJEE Amit, 土屋 智由, 廣谷 潤 (京都大)
6/23-6/26 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2024 (APCOT 2024)
June 25, 9:45 -10:45, Session OS8.4 Micro/Nanofabrication, materials & packaging II
OR-09-1115 Synergistic Effects of Thermal and Electrostatic Resonance Frequency Tuning in Ultrathin Silicon Nanomechanical Resonators
Wei Yu, Amit Banerjee, Jun Hirotani and Toshiyuki Tsuchiya
June 26, 11:15-12:45, Session OS8.4 Micro/Nanofabrication, materials & packaging II
OR-16-0129-R Nanometer-Order Stable Separation Control of Nanogaps with (111) Silicon Cleavage Planes in Vacuum
Masaki Shimofuri, Amit Banerjee, Jun Hirotani and Toshiyuki Tsuchiya
9/8-11 日本機械学会 2024年度 年次大会 (愛媛大学 城北キャンパス)
[J224] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性(1)
9月9日(月) 9:00~10:30
〇島 康介1、竹村 拓樹1、バネルジー アミット1、廣谷 潤1、土屋 智由1 (1. 京都大学) [J224-11] レーザー反射光強度計測による金属膜表面温度の非接触測定
〇村上 大志1、霜降 真希2、土屋 智由2、三宅 修吾1 (1. 摂南大学、2. 京都大学)
[K221] 基調講演[マイクロ・ナノ工学部門,材料力学部門,機械材料・材料加工部門]
9月9日(月) 13:00~14:00
土屋 智由 (京都大学)
[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性
9月9日(月) 13:00~14:30
〇平田 一真1、バネルジー アミット1、廣谷 潤1、土屋 智由1 (1. 京都大学) [J224p-07] 自律振動静電MEMSミラー群の相互同期の検討
〇川島 優太1、大木 幹也1、バネルジー アミット1、廣谷 潤1、土屋 智由1 (1. 京都大学)
9/16-20 第85回応用物理学会秋季学術講演会(朱鷺メッセほか)
[18p-A21]【一般公開】生産技術の醍醐味 ~ モノづくりシステムの現場で応用物理は何ができるか?
9/18 13:30~18:50
〇土屋 智由1 (1.京大院工)
9/16-19 50th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2024) (Montpellier, France)
T2 – Session 1: MEMS
10:45 – 12:00, Tuesday, 17 September 2024
Scalable fabrication of diamond MEMS devices from commercial diamond-on-insulator wafers
Shun-ichiro Matsuda, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya (Kyoto University)
9/22-26 2024 IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium (Taipei, TAIWAN)
Tuesday, Sep. 24, 14:30-16:00, Poster Session #2: B3aP-19: ASS-P Sensor, Materials and Novel Devices
8033: Development of a Thermal SAW Phase Modulator for Physical Reservoir Computing
Taiki Ijima, Claude Meffen, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
Kyoto University, Japan
9/25-26 2024 IEEE IRDS and International Nanodevices and Computing Conference (INC) (Online)
Thursday, Sep. 26, 4:10 pm – 5:20 pm (EDT), Session 4 SDRJ
4:50 pm: Toward Sound-Based Reservoir Computing using Surface Acoustic Wave Devices
Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto University
11/10-14 The 34th International Symposium on Transport Phenomena (ISTP-34) (Taoyuan Convention and Exhibition Center, Taoyuan, Taiwan)
Wednesday, Nov. 13, 10:50~12:20, Room 302
Micro- and Nano-Scale Transport II
10:50 – 11:05
Estimation of Thermal Conductivity Profile in Depth Direction Using Machine Learning in Frequency Domain Thermoreflectance
Y. Ikeda, Y. Akura, M. Shimofuri, A. Banerjee, T. Tsuchiya, and J. Hirotani, Kyoto Univ, Japan
11:20 – 11:35
Flexible Three-Omega Sensors Fabricated on Parylene Substrates
R. Yamasaki1, Y. Matsunaga2, M. Shimofuri1, A. Banerjee1, T. Tsuchiya1, and J. Hirotani1, 1Kyoto Univ., Japan, 2Nagoya Univ., Japan
11/12-15 37th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2024) (Kyoto Brighton Hotel, Kyoto, Japan)
14P-1: Poster Session I (16:10-18:10, Nov. 14), Room P (Hanabusa) (B1F)
Nanocarbons & 2D Materials
14P-1-25
Thermal Conductivity of Ti3C2Tx MXene Thin Film Measured by Frequencydomain Thermoreflectance
Yuki Akura 1, Yuki Matsunaga 2, Hiroya Morotomi 1, Masaki Shimofuri 1, Amit Banerjee 1,
Toshiyuki Tsuchiya 1 and Jun Hirotani 1, 1 Kyoto Univ. and 2 Nagoya Univ., Japan
Nanodevices
14P-1-43
Tunable Si NEMS resonators for frequency-domain physical reservoir computing
Shuto Kawaguchi, Yu Wei, Amit Banerjee, Jun Hirotani and Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto Univ., Japan
15B-3: Microsystem Technology and MEMS II (Nov. 15. 13:30-15:10)
15B-3-1 13:30
Nonlinear thermo-acoustic phase modulator for physical reservoir computing
Taiki Ijima, Claude Meffan, Amit Banerjee, Jun Hirotani and Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto Univ., Japan
15B-3-5 14:50
Fabrication and resonant characteristics of diamond MEMS resonators
Shunichiro Matsuda, Amit Banerjee, Masaki Shimofuri, Jun Hirotani and Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto Univ., Japan
15P-1: Poster Session II (15:30-17:30, Nov. 15), Room P (Hanabusa) (B1F)
Microsystem Technology and MEMS
15P-1-48
(100) silicon ring gyroscope with rectangle springs aiming at frequency and thermoelastic Qfactor
matching
Ayumu Takahashi, Amit BanerJee, Jun Hirotani and Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto Univ., Japan
15P-1-51
Noncontact measurement of TiNi film surface temperature using laser reflected light
Taichi Murakami 1, Masaki Sshimofuri 2, Toshiyuki Tsuchiya 2 and Shugo Miyake, 1 Setsunan Univ. and 2 Kyoto Univ., Japan
2023/1/15-19 The 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2023) (Munich, Germany)
Poster Session I Monday, 16 January 14:45 – 16:15
136-e IONIC LIQUID ELECTROSPRAY THRUSTER WITH TWO-STAGE ELECTRODES ON GLASS SUBSTRATE
Akane Nishimura1, Yoshinori Takao2, and Toshiyuki Tsuchiya1
1 Kyoto University, JAPAN and 2 Yokohama National University, JAPAN
Poster Session III Wednesay, 18 January 14:00 – 15:30
321-b PHYSICAL RESERVOIR COMPUTING USING NONLINEAR MEMS RESONATOR HAVING HIGH MEMORY CAPACITY AT "EDGE OF CHAOS"
Hiroki Takemura, Takahiro Mizumoto, Amit Banerjee, Jun Hirotani, and Toshiyuki Tsuchiya
Kyoto University, JAPAN
2/2 2023 Symposium on User-Facility Network in Asia
14:05 “Nanotechnology Hub in Kyoto Univ. -Facility and Material Data Network Hub for Next-Generation Polymers & Multi-Materials”
Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto University, Japan
3/28-31 The 10th IEEE International Symposium on Inertial Sensors & Systems, INERTIAL 2023 (Kaua’i, Hawaii, USA)
2023/3/29 11:25-12:30: A2L-A MEMS Gyroscope
A2L-A-3 A New Design of MODE-Matched (100) Silicon Ring Gyroscope with Chamfered Rectangle Springs Immune to Fabrication Errors
Shuya Okayama, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
5/14-17 The 18th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems: IEEE-NEMS2023 (Jeju, Korea)
Simulation Model to Characterize Volumetric Flow Rate Generated by Polydimethylsiloxane Peristaltic Micropump for Body-on-a-Chip
Jiandong Yang, Yoshikazu HIRAI, Ken-ichiro KAMEI, Osamu Tabata, Toshiyuki TSUCHIYA
5/25-27 第60回日本伝熱シンポジウム (福岡国際会議場)
5/25 H14 15:10-17:10 優秀プレゼンテーション賞セッション
H1401: トランスデューサ層パターニングによる周波数領域サーモリフレクタンス計測手法の高感度化
◯ 安倉 祐樹, BANERJEE Amit, 土屋 智由, 廣谷 潤 (京都大)
H1402: パリレン基板を用いたフレキシブル3ωセンサの作製と評価
◯ 山崎 瑠斗 (京都大), 松永 優希 (名古屋大), BANERJEE Amit, 土屋 智由, 廣谷 潤 (京都大)
6/25-29 The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems: Transducers 2023 (Kyoto, Japan)
Poster Session: Tuesday, 26 June 14:15 – 16:15
T4P.009 Micro-Fabricated Bi-Stable Mechanical Switch Actuated by Single Thermal Actuator
Jiacheng Liu1, Yuma Ohara2, Zerui Xu3, Ruizi Liu1, Zhangshanhao Li3, Xiaohong Wang3, Toshiyuki Tsuchiya2, and Man Wong1
1 Hong Kong University of Science and Technology, HONG KONG, 2 Kyoto University, JAPAN, and 3 Tsinghua University, CHINA
T4P.077 Human Activity Recognition using Intelligent Resonant Accelerometer Employing MEMS Reservoir Computing
Takahiro Mizumoto, Amit Banerjee, Jun Hirotani, and Toshiyuki Tsuchiya
Kyoto University, JAPAN
9/3-6 日本機械学会 2023年度 年次大会 (東京都立大学 南大沢キャンパス)
[J224p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性
2023年9月6日(水) 13:00 ~ 14:30 G(8号館1階)
〇井嶋 泰貴1、Robert Claude Meffan1、Amit Banerjee1、廣谷 潤1、土屋 智由1 (1. 京都大学)
9/18 Deep learning meets Neuromorphic Hardware (a Workshop of European Conference on Machine Learning and Principles and Practice of Knowledge Discovery in Databases) (Turin, Italy)
#104 Optimisation of a physical reservoir computer’s parameters using a genetic algorithm
Claude Meffan (Kyoto University); Taiki Ijima (Kyoto University); Amit Banerjee (Kyoto University); Jun Hirotani (Kyoto University); Toshiyuki Tsuchiya (Kyoto University)
9/25-28 49th international conference on Micro and Nano Engineering (MNE2023) (Berlin, Germany)
Track 2- Fabrication and Integration of Micro/Nano Structures, Devices and Systems
Wednesday, 27, 3:00pm – 4:15pm
O-S62-T2-1 Development of surface acoustic wave phase modulators for physical reservoir computing
Taiki Ijima, Claude Meffan, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
Track3 – Micro/Nano Engineering for Life Sciences / Track4 – Micro/Nano Engineering for Physical and Chemical Applications
Wednesday, 27, 3:00pm – 4:15pm
O-S63-T3-1 Electrode Design Using Multi-Material Topology Optimization for Accurate Measurement of Trans-Epithelial Electrical Resistance in Organ-on-a-Chip
Haruki Goda, Naoyuki Ishida, Kozo Furuta, Kazuhiro Izui, Fred van Keulen, Ken-ichiro Kamei, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata, Yoshikazu Hirai
Poster Session2.1: Trak 2
Wednesday, 27, 4:15pm – 6:30pm
P-S21-76-T2 Synchronous vibration of 1×2 torsional micromirror array
Mikiya Oki, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
P-S21-40-T2 Optimisation of a physical reservoir computer’s parameters using a genetic algorithm non-linear search
Claude Meffan, Taiki Ijima, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
P-S21-71-T2 Ultrathin Si nanostring resonators with widely tunable dynamic behaviour
Amit Banerjee, Wei Yu, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
11/6-9 Future Technologies from Kumamoto (熊本・熊本城ホール)
第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
2023/11/6 17:40-19:10 6P5 ポスターセッションI
6P5-PS-34 高性能小型圧電ジャイロスコープのための単結晶ニオブ酸リチウム円筒振動子の開発
*森田 健司{1}, 土屋 智由{1}, 荒屋 和貴{2}, 今村 恒彦{2}, 谷内 雅紀{3}, {1}京都大学, {2}多摩川精機, {3}多摩川モバイル電装
2023/11/8 13:50-15:20 8P2ポスターセッションIII
8P2-PS-9 静電駆動単結晶シリコンMEMSミラーの1×2アレイ同期振動
*大木 幹也, バネルジー アミット, 廣谷 潤, 土屋 智由, 京都大学
2023/11/6 13:10~15:10 機械学会マイクロ・ナノ工学部門、情報・知能・精密機器部門との連携企画
「MEMSデバイスの最新研究と応用技術(慣性センサ)」
MEMS慣性センサのいまとこれから -本企画への期待を込めて-
土屋智由 京都大学
2023/11/6 17:40-19:10 6P5 ポスターセッションI
6P5-PN-14トランスデューサ層パターニングによる周波数領域サーモリフレクタンス計測の測定感度の向上
安倉 祐樹*, Amit Banerjee, 土屋 智由, 廣谷 潤,京都大学
6P5-PN-51 高温耐性p/n型ドーパントを用いたカーボンナノチューブ薄膜pn接合ダイオード
松永 優希*[1], 内山 晴貴[1], 大町 遼[1], 廣谷 潤[2], [1]名古屋大学, [2]京都大学
2023/11/7 13:45-15:15 7P2 ポスターセッションII
7P2-PN-50 熱拡散率の非線形温度特性を用いた一次元サーマルリザバーコンピューティングにおける駆動条件の検討武田 侑大*, Amit Banerjee, 土屋 智由, 廣谷 潤京都大学
2023/11/8 13:50-15:20 8P2ポスターセッションIII
8P2-PN-10 反射率温度依存性を用いたレーザー光反射強度計測による表面温度の非接触測定
村上 大志*[1], 土屋 智由[2], 霜降 真希[2], 三宅 修吾[1],[1]神戸市立工業高等専門学校, [2]京都大学
共振型加速度センサを一体化したMEMSリザバーコンピューティングによる人間行動認識
千賀美咲*,水本昂宏,Amit Banerjee,廣谷潤,土屋智由 (京都大学)
面取り矩形支持ばねを用いた(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの理論解析
高橋 歩夢*,岡山修也,Amit Banerjee,廣谷潤,土屋智由(京都大学)
11/14-17 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2023) (Keio Plaza Hotel Sapporo, Sapporo, Japan)
16P-1: Poster Session I (14:00-16:00, Nov. 16), Room P (Eminence Hall) (2F)
BioMEMS, Lab on a Chip, and Nanobiotechnology
16P-1-87
Developing a MEMS reservoir-computer for real-time epileptic seizure detection
Amit Banerjee, Shuto Kawaguchi, Claude Meffan, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto Univ., Japan
17B-2:Nano-devices IV (11:00-12:00, Nov. 17), Room B (Rose Room) (2F)
17B-2-1 11:00
Developing Effective Si Nanoresonator Devices for Ultrasensitive Gas Sensing
Wei Yu, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto Univ., Japan
1/9-13 The 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2022) (Tokyo, JAPAN, Hybrid)
Virtual Poster Session I Monday, 10 January 22:00 – 23:30
118-b OBSERVATION OF PULL-IN BY CASIMIR FORCE IN MEMS-CONTROLLED NANOGAP FABRICATED BY SILICON CLEAVAGE
Masaki Shimofuri, Yoshikazu Hirai, Amit Banerjee, and Toshiyuki Tsuchiya
Kyoto University, JAPAN
Virtual Poster Session II Tuesday, 11 January 05:00 – 06:30
209-b MEMS RESERVOIR COMPUTING USING FREQUENCY MODULATED ACCELEROMETER
Takahirio Mizumoto, Yoshikazu Hirai, Amit Banerjee, and Toshiyuki Tsuchiya
Kyoto University, JAPAN
Session XIV – Microfluidic Devices, Thursday, 13 January 13:30 – 14:30
13:45 FIELD EFFECT TRANSISTOR-LIKE CONTROL OF CAPILLARIC FLOW USING OFF VALVES
Claude Meffan, Julian Menges, Daniel Mak, Fabian Dolamore, Conan Fee, Renwick Dobson, and Volker Nock
University of Canterbury, NEW ZEALAND
2/28-3/4 The 33rd International Symposium on Space Technology and Science (ISTS 2022)
[B-7] Electrospray Thrusters / Advanced Micro Thrusters, Wed. Mar 2, 2022 4:00 PM – 5:00 PM
4:00 PM – 4:20 PM
[2022-b-28] Design and fabrication of ionic liquid electrospray thruster with two-stage electrodes
*Akane Nishimura1, Yoshinori Takao2, Toshiyuki Tsuchiya1 (1. Kyoto University, 2. Yokohama National University)
5/8-5/13 2022 MRS Spring Meeting (Honolulu, HI)
5/29-6/1 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2022 (APCOT 2022)
May 30, 9:15 -10:45, Session1
[Plenary] Toshiyuki TsuchiyaMEMS Reservoir Computing -Sensors Become More Intelligent-
6/7-8 令和4年度 電気学会E部門 総合研究会
マイクロマシン・センサシステム/ケミカルセンサ/バイオ・マイクロシステム 合同研究会
(会場A) 6月8日(水) 11:10〜12:30 テーマ「合同セッション2」
MSS-22-019 CHS-22-013 BMS-22-018 加工誤差への耐性を有する(100)単結晶シリコンリング型ジャイロの開発
岡山 修也, 廣谷 潤, Amit Banerjee, 土屋 智由(京都大学)
6/29-30 International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications (Actuator 2022)
Thursday, June 30 09:00 – 12:40, B4 Actuator Control and Electronics
S. Xie, R. Liu, S. Okayama, T. Tsuchiya, M. Wong and X. Wang, “A Planar Single-Actuator Bi-Stable Mechanical/Electrical Switch," ACTUATOR 2022; International Conference and Exhibition on New Actuator Systems and Applications, 2022, B4-5
8/28-31 2022 JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment (MIPE 2022) (Nagoya, Japan)
Mon. Aug 29, 2022 2:00PM-3:15PM Room C Micro/Nano Mechanical Systems 3
[C1-3-04] Characterization of gap-distance dependency on field emission at nanogap between silicon cleavage surfaces by numerical calculations
*Yuki Akura1, Masaki Shimofuri1, Amit Banerjee1, Jun Hirotani1,2, Toshiyuki Tsuchiya1 (1. Kyoto Univ., 2. JST PRESTO)
*WEI YU1, Amit Banerjee1, Jun Hirotani1, Toshiyuki Tsuchiya1 (1. Kyoto University)
Tue. Aug 30, 2022 11:00 AM – 12:30 PM Room A Machine Learning and Intelligent Mechanical Systems 1
[A2-2-03] A non-linear SAW resonator as a reservoir computing node
*Claude Meffan1, Amit Banerjee1, Jun Hirotani1, Toshiyuki Tsuchiya1 (1. Kyoto University)
Tue. Aug 30, 2022 11:00AM-12:15PM Room C Micro/Nano Mechanical Systems 5
[C2-2-04] Alternating a-C:H Coating Effect on Torsional Strength of Silicon Beam for Micromirrors
*Yuanlin Xia1, Amit Banerjee1, Jun Hirotani1, Toshiyuki Tsuchiya1 (1. Kyoto University)
9/1-2 第59回炭素材料夏季セミナー
9月1日(木) 15:00〜16:20 学生ポスター発表
安倉祐樹(京都大学)
P27「周波数領域サーモリフレクタンス法による熱物性計測手法の高精度化」
9/9-10 伝熱学会 関西支部 第17回関西伝熱セミナー (京都)
真空ナノギャップを用いた熱電子発電実現に向けて
土屋 智由 (京都大学)
9/11-14 日本機械学会 2022年度 年次大会 (富山大学)
[W221] 【部門発足10周年記念】マイクロ・ナノ工学の10年間と将来展望[マイクロ・ナノ工学部門企画]
9月13日(火) 13:00 ~14:30 Room 16(C22)
土屋 智由 (京都大学)
[J223] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 Ⅰ
2022年9月14日(水) 09:00 ~ 10:00 Room 8(B21)
〇安倉 祐樹1、霜降 真希1、Banerjee Amit1、廣谷 潤1,2、土屋 智由1 (1.京都大学、2.JSTさきがけ)
[J223] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 Ⅱ
2022年9月14日(水) 11:30 ~ 12:30 Room 8(B21)
〇武田 侑大1、水本 昂宏1、竹村 拓樹1、Banerjee Amit1、廣谷 潤1、土屋 智由1 (1.京都大学)
[J223p] マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性
2022年9月14日(水) 10:00 ~ 11:30 L
〇森田 健司1、土屋 智由1、荒屋 和貴2、今村 恒彦2、谷内 雅紀3 (1.京都大学、2.多摩川精機株式会社、3.多摩川モバイル電装株式会社) [J223p-06] ガスセンサ用シリコンナノ共振器のアンカーロスの低減
〇王原 悠真1、Banerjee Amit1、廣谷 潤1、土屋 智由1 (1.京都大学)
9/19-23 MNE EUROSENSORS 2022 (Leuven, Belgium)
(Micro Nano Engineering)
Tuesday, 20 September, 17:00 Poster : T3-P1-TuA Poster Track 3 – Session 1
Venue – Foyer CAG (room 04.290) – BOARDS TRACK 3
Poster T3-P1-TuA-047 Neuroaccelerometer using reservoir computing with parametric nonlinear response
Takahiro Mizumoto, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
Wednesday, 21 September, 15:15 Oral : T2-F-WeA Oral Track 2 – Session F – Inertial Sensors and Resonators – 75min
Venue – Groot Aula GA2 – 474 seats (room 04.14)
Mode-matched (100) single crystal silicon ring gyroscope robust to fabrication errors
Shuya Okayama, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya
11/8-11 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2022) (JR Hotel Clement, Tokushima)
Thursday, November 10, 13:30-14:50 10B-3: CNTs
14:30 10B-3-4: Highly temperature-tolerant p-type carbon nanotube transistor doped with 1,4,5,8,9,11-
hexaazatriphenylenehexacarbonitrile
Yuki Matsunaga1, Jun Hirotani2,3, Haruka Omachi1, 1 Nagoya Univ., 2 Kyoto Univ. and 3 JST-PREST, Japan
Thursday, November 10, 9:30-11:30, Poster Session 1: Nanocarbons & 2D Materials
10P-1-2: Exfoliation of Al-residual Ti3C2Tx MXene by using tetramethylammonium bases and conductive film applications
Yuki Shibata1, Emi Saita1, Masaki Iwata1, Yuki Matsunaga1, Rie Suizu1,2, Kunio Awaga1, Jun Hirotani2,3 and Haruka Omachi1, 1 Nagoya Univ., 2 JST-PRESTO and 3 Kyoto Univ., Japan
11/14-16 Future Technologies from Tokushima (徳島・アスティとくしま)
第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
11月16日10:10-11:25 16A2-M バイオマイクロナノシステム
16A2-M-1 高精度な経上皮電気抵抗計測のためのトポロジー最適化による電極設計
*合田 晴紀1, 石田 尚之1, 古田 幸三1, 泉井 一浩1, Van KeulenFred2, 亀井 謙一郎1, 土屋 智由1, 田畑 修3, 平井 義和1 (1京都大学, 2Delft University of Technology,3京都先端科学大学)
11 ⽉14 ⽇(⽉) 17:30-19:00 14P5-P ポスターセッションI
14P3-PN-20: 熱伝導率の非線形温度特性を利用したサーマルリザバーコンピューティング
武田 侑大*, 水本 昂宏, Banerjee Amit, 土屋 智由, 廣谷潤 (京都大学)
11 ⽉15 ⽇(⽕) 13:40-15:10 15P2-P ポスターセッションII
15P2-PN-17 同期振動実現に向けたMEMSチルトミラーアレイの設計
大木 幹也*, 中村 友哉, Banerjee Amit, 廣谷 潤, 土屋 智由 (京都大学)
15P2-PN-55 レーザー光反射強度計測によるジュール加熱に伴うアルミ配線膜表面温度の非接触測定
村上 大志*[1], 土屋 智由[2], 三宅 修吾[1] ([1]神戸市立工業高等専門学校, [2]京都大学)
11 ⽉16 ⽇(⽔) 12:50-14:20 16P2-P ポスターセッションIII
16P2-PN-16 パルス電圧印加を用いた間隔可変単結晶シリコンナノギャップの電子輸送特性計測
霜降 真希*, 廣谷 潤, Banerjee Amit, 土屋 智由 (京都大学)
11月 14 日(月) 13:00~14:30 14 P3 C センサ・アクチュエータ・材料
14P3 C 1 知能化共振加速度センサの記憶容量と感度の関係
水本 昂宏, Banerjee Amit, 廣谷 潤, 土屋 智由(京都大学)
1/25-29 The 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2021)
HIGHLY ACCURATE MEASUREMENT OF TRANS-EPITHELIAL ELECTRICAL RESISTANCE IN ORGAN-ON-A-CHIP
Takashi Miyazaki1, Jiandong Yang1, Satoshi Imamura1, Yoshikazu Hirai1, Ken-ichiro Kamei1, Toshiyuki Tsuchiya1, and Osamu Tabata1,2
1Kyoto University, 2Kyoto University of Advanced Science
1/28 第11回集積化MEMS技術研究ワークショップ(オンライン)
MEMSを用いた単結晶シリコンへき開面ナノギャップ
霜降真希, 平井義和, 土屋智由(京都大学)
3/16-19 応用物理学会春季学術講演会
3/18 15:45 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
[18p-Z24-9] アルカリ金属生成用三次元構造を一括形成したMEMSガスセルの開発
〇(M)清瀬 俊1, 平井 義和1, 田畑修2, 土屋 智由1 (1.京大工, 2.京先端大工)
3/19 9:00 3.12 ナノ領域光科学・近接場光学
[19a-Z08-1] カシミール-リフシッツ力が支配する単結晶シリコンナノギャップの最小空隙
〇(D)霜降 真希1, 平井 義和1, 土屋 智由1 (1.京大工)
3/19 16:45 FS.1 フォーカストセッション「AIエレクトロニクス」
[19p-Z34-13] 周波数変調型加速度センサを用いたMEMSリザバーコンピューティング
〇(B)水本 昂宏1, 平井 義和1, 土屋 智由1 (1.京大工)
5/17-18 化学とマイクロ・ナノシステム学会 第43回研究会(CHEMINAS43)
(5月17日) 14:50-16:50 ポスターセッション1
1P-06 心臓拍動を模倣した圧力刺激印加による肝オルガノイド成熟化を目指すマイクロ流体デバイス
三浦大知1,平井義和1,亀井謙一郎2,土屋智由1 (1京 大院・工,2京大高等研究院物質-細胞統合システム拠点)
6/20-25 The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2021)
B2-2D1 MULTILAYERED MICROFLUIDIC DEVICE FOR CONTROLLABLE FLOW PERFUSION OF GUT-LIVER ON A CHIP
Jiandong Yang1, Satoshi Imamura1, Yoshikazu Hirai1, Ken-ichiro Kamei1, Toshiyuki Tsuchiya1, and Osamu Tabata1,2
1Kyoto University, Kyoto, JAPAN and 2Kyoto University of Advanced Science, Kyoto, JAPAN
B5-5D3 GRAVITY AND FILM STRESS ANALYSIS FOR MEMS DEFORMABLE MIRROR WITH ELECTROSTATIC PISTON ARRAY
Toshiyuki Tsuchiya1, Toshiki Ema1, Yoshikazu Hirai1, Christopher Welham2 and Hideyuki Maekoba2
1 Kyoto University, Kyoto, JAPAN, 2 Coventor, A Lam Research Company
B5-507a HIGH DURABILITY LATCH-LOCK BI-STABLE SWITCH ON Y-SHAPED CANTILEVER
Zili Tang1, Qi Tao2, Zehua Lan3, Zong Liu1, Toshiyuki Tsuchiya4, Xiaohong Wang3, and Man Wong1
1 Hong Kong University of Science and Technology, HONG KONG, 2 China Academy of Engineering Physics, Beijing, CHINA, 3 Tsing Hua University, Beijing, CHINA, 4 Kyoto University, Kyoto, JAPAN
B2-2A6 A PLANAR SINGLE-ACTUATOR BI-STABLE SWITCH BASED ON HOOKLESS MECHANISM
Zehua Lan1, Qi Tao2, Zili Tang3, Toshiyuki Tsuchiya4, Man Wong3, and Xiaohong Wang1
1Tsinghua University, CHINA, 2China Academy of Engineering Physics, CHINA,
3Hong Kong University of Science and Technology, CHINA, and 4Kyoto University, JAPAN
[Just-in Press Session]
B6-JI1A1 MICROFABRICATED ALKALI METAL VAPOR CELLS FILLED WITH AN ON-CHIP DISPENSING COMPONENT
Shun Kiyose1, Yoshikazu Hirai1, Osamu Tabata2, and Toshiyuki Tsuchiya1
1Kyoto University, JAPAN and 2Kyoto University of Advanced Science, JAPAN
[TUTORIAL] Short Course 1: KEY TECHNOLOGIES AVAILABLE IN NANOFABRICATION CENTERS WORLDWIDE
SC1-2T1 FABRICATION OF CYCLO-OLEFIN POLYMER-BASED MICROFLUIDIC DEVICE USING WATER VAPOR PLASMA ACTIVATED BONDING
Toshiyuki Tsuchiya
Kyoto University, JAPAN
9/5-8 機械学会年次大会(Online)
J223 マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 I
2021年9月7日(火) 09:15 ~ 10:30 Room 18
〇霜降 真希1、吉村 光葵1、文 和彦1、平井 義和1、Banerjee Amit1、土屋 智由1 (1.京都大学) [J223-02] a-C:H交互多層膜を被覆したSi微小構造体の引張強度特性
〇夏 園林1、平井 義和1、土屋 智由1 (1.京都大学)
J223 マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 II
2021年9月7日(火) 10:45 ~ 12:00 Room 18
鈴木 誠1、薛 沛東1、平井 義和1、〇土屋 智由1 (1.京都大学)
9/20-23 Micro and Nano Engineering Conference (Turin, Italy / Hybrid)
Session C1: MEMS/NEMS Technology
Tuesday, September 21 10:45am CET
11:45am Wineglass mode MEMS gyroscopes with single crystal materials (INVITED)
Toshiyuki Tsuchiya (Kyoto University)
10/26-29 34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021) (Online)
29C-3: Microsystem Technology and MEMS Session III
Friday, October 29 13:30-14:50
13:30 29C-3-1 SOI-MEMS device for fabrication and physical properties measurement of single-crystal silicon nanogap with (111) cleavage plane surfaces
Masaki Shimofuri, Yoshikazu Hirai, Amit Banerjee and Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto Univ., Japan
11/9-11 Future Technologies from Himeji (Online)
第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
11 月 9 日(火) 10:50-12:20 9A3-SS3 フィジカルセンサ
9A3-SS3-3 リング型振動ジャイロスコープにおける静電チューニングのワイングラスモード回転への影響評価
岡山 修也 *, 平井 義和 , バネルジー アミット , 土屋 智由
京都大学
11 月 10 日(水) 13:00 14:30 10P2-SS1 ファイナリストセッション
4
10P2-SS1-2 GUT LIVER ON A CHIP WIT H CONTROLLABLE FLOW PERFUSION VIA MULTILAYERED MICROFLUIDIC DEVICE
楊 建東 *{1}, 今村 聡 {1}, 平井 義和 {1}, 亀井 謙一郎 {1}, 土屋 智由 {1}, 田畑 修 {1}
{1}京都大学 , {2} 京都先端科学大学
11 月 10 日(水)13:00-14:30 10P2-SS2 設計・製作技術,材料 2
10P2-SS2-5 イオン液体エレクトロスプレースラスタのための二段電極構造の作製
西邑 亜香音 {1}, 鷹尾 祥典 {2}, 土屋 智由 {1}
{1}京都大学 , {2} 横浜国立大学
11 月 10 日(水) 13:00-14:30 10P2-SS-3 センサ・アクチュエータシステム
10P2-SS3-6 MEMS振動子アレイの動的応答を利用した時系列信号処理
竹村 拓樹 *, 平井 義和 , Banerjee Amit, 土屋 智由
京都大学
11 月 11 日(木) 13:00-14:30 11P2-MN1オンデマンドセッション 3
11P2-MN1-10 単結晶ニオブ酸リチウムを用いたディスク型圧電振動ジャイロのFTR 制御
銭 進 *{1}, 荒屋 和貴 {2}, 谷内 雅紀 {3}, 土屋 智由 {1} {1}京都大学 , {2} 多摩川精機 , {3} 多摩川モバイル電装
11月 10 日(水) 9:55-11:25 10A3-AP 加速度センサ・振動計測・リザバーコンピューティング
10A3-AP-5 周波数変調型加速度センサを用いたMEMS リザバ ーコンピューティング
水本 昂宏 *, 平井 義和 , 土屋 智由, 京都大学
9/1 電気学会基礎・材料・共通部門大会
企画セッション:スマート社会・ライフサイエンス応用に向けたセンサ・マイクロマシンの研究動向
1-A-p1-5 【招待講演】圧電ディスク型ニオブ酸リチウム振動ジャイロスコープ
○土屋智由(京都大学), 荒屋和貴(多摩川精機), 谷内雅紀(多摩川モバイル電装)
9/8,9 応用物理学会秋季講演会
9/8 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」
[8a-Z09-9] 単結晶シリコン(111)へき開面ナノギャップ間の熱輸送測定
〇(D)霜降 真希1、平井 義和1、土屋 智由1 (1.京大工)
9/9 17 ナノカーボン » 17.2 グラフェン
[9p-Z29-5] Electrical characterization of suspended graphene nanoribbons fabricated by b-HF free process
〇AMIT BANERJEE1、Osazuwa Agbonlahor1、Manoharan Muruganathan1、Hiroshi Mizuta1 (1.JAIST)
9/15 機械学会年次大会(Online)
J223 マイクロ・ナノ機械の信頼性
J22309 Al/Ni 発熱多層膜を用いた真空封止技術におけるMEMS 振動子による真空度評価
◯松本 有紀子(京都大),児玉 健太(KUAS),生津 資大,土屋 智由(京都大)
J22316 静電駆動MEMS デバイスを用いた単結晶シリコンへき開面ナノギャップの熱輸送間隔依存性計測
◯霜降 真希(京都大),平井 義和,土屋 智由
J22317 単結晶シリコンの真空中へき開によるナノギャップ創成とその清浄破断面間の電界電子放出測定
◯文 和彦(京都大),霜降 真希,平井 義和,土屋 智由
J22318 単結晶シリコンのへき開破壊を用いた真空ナノギャップ間の熱電子放出測定用デバイスの作製
◯吉村 光葵(京都大),土屋 智由,平井 義和
9/17-18 第30回 マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES2020)
(パナソニックリゾート大阪、Online)
9/18 先端実装技術
13:40 2B4-3電流密度解析を用いた経上皮電気抵抗計測用微小電極アレイの設計
宮崎貴史. 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由(京都大学), 田畑修(京都先端科学大学)
9/27-30 Virtual IEEE NEMS 2020 (Online)
IS8: Micro/Nano Engineering for Advanced Bio/Medical Systems Tuesday, September 29 11:20 -13:00 (日本時間9/30 0:20-2:00)
IS8.6 (Invited) Microfluidic platform fabricated by three-dimensional lithography enables drug test and disease modeling in vitro
Yoshikazu HIRAI, Kyoto Univ., Japan
10/4-9 μTAS2020 (Online)
e – Cells, Organisms and Organs on a Chip -Organs on Chip
T3-353.e HEART-LIVER ON A CHIP INTEGRATED WITH A MICROELECTRODE ARRAY TO MONITOR EXTRACELLULAR FIELD POTENTIALS OF CARDIOMYOCYTES
Dongxiao Zhang1, Yoshikazu Hirai1, Ken-ichiro Kamei1, Osamu Tabata1,2, and Toshiyuki Tsuchiya1
1Kyoto University, JAPAN and 2Kyoto University of Advanced Science, JAPAN
10/26-28 Future Technologies from Kumamoto (Online)
第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
10/27 10:10~11:40 マイクロナノシステム1
27A2-SS2-4 イオン液体エレクトロスプレースラスタの二段電極作製に向けたガラス貫通加工の検討
西邑 亜香音*1, 鷹尾 祥典2, 土屋 智由1 1 京都大学, 2 横浜国立大学
10/27 12:50~14:20 ファイナリストセッション 4
27P2-SS1-3 経上皮電気抵抗測定の高精度化に向けたOrgans-on-a-Chipの設計法
宮崎 貴史*1, 平井 義和1, 亀井 謙一郎1, 土屋智由1, 田畑 修1,2 1 京都大学, 2 京都先端科学大学
10/27 14:30~16:00 ポスターセッション
27P3-SSP-10 Si/COP水蒸気プラズマ接合によるMEMS・マイクロ流路一体化デバイス
竹村 拓樹*, 平井 義和, 土屋 智由 京都大学
10/27 16:10-18:20 FT合同招待セッション
27P4-FT-1DNAオリガミを利用したSERS分析用金ナノ粒子二量体の形成とその固定化技術
山下直輝 京都大学
10/26 13:05~14:05 医療・バイオ 1
26P2-MN1-2 細胞外電位計測を目的としたパリレン製微小電極アレイのボディ・オン・チップへの集積
張 東暁, 平井 義和*, 亀井 謙一郎, 田畑 修, 土屋 智由 京都大学
化学とマイクロ・ナノシステム学会 第42回研究会(Cheminas42)
10/27 10:10~11:40 セッション2
2P20 非アルコール性脂肪性肝疾患を再現する肝臓-小腸・オン・チップ
○亀井 謙一郎1, 楊 建東1, 飯田 慶1, 寺田 志穂1, 土屋 智由1, 田畑 修2, 平井 義和1 1 京都大学, 2 京都先端科学大学
11/9-12 MNC2020 (Online)
5-1: Microsystem Technology and MEMS I
2020-5-8 Microfabricated Vapor Cells with Monolithically Integrated Alkali Metal Dispensing Component
Shun Kiyose1, Yoshikazu Hirai1, Osamu Tabata1,2, Toshiyuki Tsuchiya1 (1 Kyoto Univ., 2 Kyoto Univ. of Advanced Sci.)
5-3: Microsystem Technology and MEMS III
2020-5-22 Tensile Strength of Single-Crystal Silicon Microstructure with Stepwise Bias-graded a-C:H Coating
Yuanlin Xia, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya (Kyoto Univ.)
2020-5-23 Ionic Liquid Electrospray Thrusters with Uniform Needle-Emitter Arrays for Precise ThrustControl
Fumiya Tachibana1, Toshiyuki Tsuchiya2 and Yoshinori Takao1 (1 Yokohama Natl. Univ., 2 Kyoto Univ.)
11/20 第31回プラズマエレクトロニクス講習会
プラズマプロセスにより作製するMEMSデバイスの最近の動向
京都大学 土屋 智由
11/26-28 5th International Conference on Emerging Electronics (IEEE-ICEE2020)
MEMS NEMS AND MICROFLUIDICS
[Invited lecture 5] Single-Crystal Lithium Niobate Piezoelectric Vibratory Disk GyroscopeToshiyuki Tsuchiya (Kyoto Univ., Japan)
11/27-12/4 2020 Virtual MRS Spring/Fall Meeting & Exhibit
S.SM01.02: Organ on a Chip
S.SM01.02.02 In Vitro Modeling of Non-Alcoholic Fatty Liver Disease by Integrated Gut-Liver on a Chip Jiandong Yang1,Yoshikazu Hirai1,Ken-ichiro Kamei1,Marika Trumm2,1, Toshiyuki Tsuchiya1,Osamu Tabata1
Kyoto University1,Heidelberg University2