学会発表

2022/1/9-13 The 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2022) (Tokyo, JAPAN, Hybrid)

Virtual Poster Session I Monday, 10 January 22:00 – 23:30
118-b OBSERVATION OF PULL-IN BY CASIMIR FORCE IN MEMS-CONTROLLED NANOGAP FABRICATED BY SILICON CLEAVAGE
Masaki Shimofuri, Yoshikazu Hirai, Amit Banerjee, and Toshiyuki Tsuchiya
Kyoto University, JAPAN

Virtual Poster Session II Tuesday, 11 January 05:00 – 06:30
209-b MEMS RESERVOIR COMPUTING USING FREQUENCY MODULATED ACCELEROMETER
Takahirio Mizumoto, Yoshikazu Hirai, Amit Banerjee, and Toshiyuki Tsuchiya
Kyoto University, JAPAN


Session XIV – Microfluidic Devices, Thursday, 13 January 13:30 – 14:30
13:45 FIELD EFFECT TRANSISTOR-LIKE CONTROL OF CAPILLARIC FLOW USING OFF VALVES
Claude Meffan, Julian Menges, Daniel Mak, Fabian Dolamore, Conan Fee, Renwick Dobson, and Volker Nock
University of Canterbury, NEW ZEALAND


終了したもの

1/25-29 The 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2021)

HIGHLY ACCURATE MEASUREMENT OF TRANS-EPITHELIAL ELECTRICAL RESISTANCE IN ORGAN-ON-A-CHIP
Takashi Miyazaki1, Jiandong Yang1, Satoshi Imamura1, Yoshikazu Hirai1, Ken-ichiro Kamei1, Toshiyuki Tsuchiya1, and Osamu Tabata1,2
1Kyoto University, 2Kyoto University of Advanced Science

1/28 第11回集積化MEMS技術研究ワークショップ(オンライン)

MEMSを用いた単結晶シリコンへき開面ナノギャップ
霜降真希, 平井義和, 土屋智由(京都大学) 

3/16-19 応用物理学会春季学術講演会

3/18 15:45 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
[18p-Z24-9] アルカリ金属生成用三次元構造を一括形成したMEMSガスセルの開発
〇(M)清瀬 俊1, 平井 義和1, 田畑修2, 土屋 智由1 (1.京大工, 2.京先端大工)

3/19 9:00 3.12 ナノ領域光科学・近接場光学
[19a-Z08-1] カシミール-リフシッツ力が支配する単結晶シリコンナノギャップの最小空隙
〇(D)霜降 真希1, 平井 義和1, 土屋 智由1 (1.京大工)

3/19 16:45 FS.1 フォーカストセッション「AIエレクトロニクス」
[19p-Z34-13] 周波数変調型加速度センサを用いたMEMSリザバーコンピューティング
〇(B)水本 昂宏1, 平井 義和1, 土屋 智由1 (1.京大工)

5/17-18 化学とマイクロ・ナノシステム学会 第43回研究会(CHEMINAS43)

(5月17日) 14:50-16:50 ポスターセッション1
1P-06 心臓拍動を模倣した圧力刺激印加による肝オルガノイド成熟化を目指すマイクロ流体デバイス
三浦大知1,平井義和1,亀井謙一郎2,土屋智由1 (1京 大院・工,2京大高等研究院物質-細胞統合システム拠点)

6/20-25 The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2021)

B2-2D1 MULTILAYERED MICROFLUIDIC DEVICE FOR CONTROLLABLE FLOW PERFUSION OF GUT-LIVER ON A CHIP
Jiandong Yang1, Satoshi Imamura1, Yoshikazu Hirai1, Ken-ichiro Kamei1, Toshiyuki Tsuchiya1, and Osamu Tabata1,2
1Kyoto University, Kyoto, JAPAN and 2Kyoto University of Advanced Science, Kyoto, JAPAN

B5-5D3 GRAVITY AND FILM STRESS ANALYSIS FOR MEMS DEFORMABLE MIRROR WITH ELECTROSTATIC PISTON ARRAY
Toshiyuki Tsuchiya1, Toshiki Ema1, Yoshikazu Hirai1, Christopher Welham2 and Hideyuki Maekoba2
1 Kyoto University, Kyoto, JAPAN, 2 Coventor, A Lam Research Company

B5-507a HIGH DURABILITY LATCH-LOCK BI-STABLE SWITCH ON Y-SHAPED CANTILEVER
Zili Tang1, Qi Tao2, Zehua Lan3, Zong Liu1, Toshiyuki Tsuchiya4, Xiaohong Wang3, and Man Wong1
1 Hong Kong University of Science and Technology, HONG KONG, 2 China Academy of Engineering Physics, Beijing, CHINA, 3 Tsing Hua University, Beijing, CHINA, 4 Kyoto University, Kyoto, JAPAN

B2-2A6 A PLANAR SINGLE-ACTUATOR BI-STABLE SWITCH BASED ON HOOKLESS MECHANISM
Zehua Lan1, Qi Tao2, Zili Tang3, Toshiyuki Tsuchiya4, Man Wong3, and Xiaohong Wang1
1Tsinghua University, CHINA, 2China Academy of Engineering Physics, CHINA,
3Hong Kong University of Science and Technology, CHINA, and 4Kyoto University, JAPAN

[Just-in Press Session]

B6-JI1A1 MICROFABRICATED ALKALI METAL VAPOR CELLS FILLED WITH AN ON-CHIP DISPENSING COMPONENT
Shun Kiyose1, Yoshikazu Hirai1, Osamu Tabata2, and Toshiyuki Tsuchiya1
1Kyoto University, JAPAN and 2Kyoto University of Advanced Science, JAPAN

[TUTORIAL] Short Course 1: KEY TECHNOLOGIES AVAILABLE IN NANOFABRICATION CENTERS WORLDWIDE

SC1-2T1 FABRICATION OF CYCLO-OLEFIN POLYMER-BASED MICROFLUIDIC DEVICE USING WATER VAPOR PLASMA ACTIVATED BONDING
Toshiyuki Tsuchiya
Kyoto University, JAPAN

9/5-8 機械学会年次大会(Online)

J223 マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 I
2021年9月7日(火) 09:15 ~ 10:30 Room 18

[J223-01] 単結晶シリコンへき開面ナノギャップ間の熱電界電子トンネリング計測
〇霜降 真希1、吉村 光葵1、文 和彦1、平井 義和1、Banerjee Amit1、土屋 智由1 (1.京都大学)

[J223-02] a-C:H交互多層膜を被覆したSi微小構造体の引張強度特性
〇夏 園林1、平井 義和1、土屋 智由1 (1.京都大学)

J223 マイクロ・ナノ機械デバイスとその信頼性 II
2021年9月7日(火) 10:45 ~ 12:00 Room 18

[J223-06] 単結晶シリコンねじり振動子の強度に及ぼす梁加工プロセスの影響評価
鈴木 誠1、薛 沛東1、平井 義和1、〇土屋 智由1 (1.京都大学)

9/20-23 Micro and Nano Engineering Conference (Turin, Italy / Hybrid)

Session C1: MEMS/NEMS Technology
Tuesday, September 21 10:45am CET

11:45am Wineglass mode MEMS gyroscopes with single crystal materials (INVITED)
Toshiyuki Tsuchiya (Kyoto University)

10/26-29 34th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2021) (Online)

29C-3: Microsystem Technology and MEMS Session III
Friday, October 29 13:30-14:50

13:30 29C-3-1 SOI-MEMS device for fabrication and physical properties measurement of single-crystal silicon nanogap with (111) cleavage plane surfaces
Masaki Shimofuri, Yoshikazu Hirai, Amit Banerjee and Toshiyuki Tsuchiya, Kyoto Univ., Japan

11/9-11 Future Technologies from Himeji (Online)

第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

11 月 9 日(火) 10:50-12:20 9A3-SS3 フィジカルセンサ
9A3-SS3-3 リング型振動ジャイロスコープにおける静電チューニングのワイングラスモード回転への影響評価
岡山 修也 *, 平井 義和 , バネルジー アミット , 土屋 智由
京都大学

11 月 10 日(水) 13:00 14:30 10P2-SS1 ファイナリストセッション 4
10P2-SS1-2 GUT LIVER ON A CHIP WIT H CONTROLLABLE FLOW PERFUSION VIA MULTILAYERED MICROFLUIDIC DEVICE
楊 建東 *{1}, 今村 聡 {1}, 平井 義和 {1}, 亀井 謙一郎 {1}, 土屋 智由 {1}, 田畑 修 {1}
{1}京都大学 , {2} 京都先端科学大学

11 月 10 日(水)13:00-14:30 10P2-SS2 設計・製作技術,材料 2
10P2-SS2-5 イオン液体エレクトロスプレースラスタのための二段電極構造の作製
西邑 亜香音 {1}, 鷹尾 祥典 {2}, 土屋 智由 {1}
{1}京都大学 , {2} 横浜国立大学

11 月 10 日(水) 13:00-14:30 10P2-SS-3 センサ・アクチュエータシステム
10P2-SS3-6 MEMS振動子アレイの動的応答を利用した時系列信号処理
竹村 拓樹 *, 平井 義和 , Banerjee Amit, 土屋 智由
京都大学

第12回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」

11 月 11 日(木) 13:00-14:30 11P2-MN1オンデマンドセッション 3
11P2-MN1-10 単結晶ニオブ酸リチウムを用いたディスク型圧電振動ジャイロのFTR 制御
銭 進 *{1}, 荒屋 和貴 {2}, 谷内 雅紀 {3}, 土屋 智由 {1} {1}京都大学 , {2} 多摩川精機 , {3} 多摩川モバイル電装

第13回「集積化MEMSシンポジウム」

11月 10 日(水) 9:55-11:25 10A3-AP 加速度センサ・振動計測・リザバーコンピューティング
10A3-AP-5 周波数変調型加速度センサを用いたMEMS リザバ ーコンピューティング
水本 昂宏 *, 平井 義和 , 土屋 智由, 京都大学

9/1 電気学会基礎・材料・共通部門大会

企画セッション:スマート社会・ライフサイエンス応用に向けたセンサ・マイクロマシンの研究動向
1-A-p1-5 【招待講演】圧電ディスク型ニオブ酸リチウム振動ジャイロスコープ
○土屋智由(京都大学), 荒屋和貴(多摩川精機), 谷内雅紀(多摩川モバイル電装)

9/8,9 応用物理学会秋季講演会

9/8 22.1 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」
[8a-Z09-9] 単結晶シリコン(111)へき開面ナノギャップ間の熱輸送測定
〇(D)霜降 真希1、平井 義和1、土屋 智由1 (1.京大工)

9/9 17 ナノカーボン » 17.2 グラフェン
[9p-Z29-5] Electrical characterization of suspended graphene nanoribbons fabricated by b-HF free process
〇AMIT BANERJEE1、Osazuwa Agbonlahor1、Manoharan Muruganathan1、Hiroshi Mizuta1 (1.JAIST)

9/15 機械学会年次大会(Online)

J223 マイクロ・ナノ機械の信頼性
J22309 Al/Ni 発熱多層膜を用いた真空封止技術におけるMEMS 振動子による真空度評価
 ◯松本 有紀子(京都大),児玉 健太(KUAS),生津 資大,土屋 智由(京都大)
J22316 静電駆動MEMS デバイスを用いた単結晶シリコンへき開面ナノギャップの熱輸送間隔依存性計測
 ◯霜降 真希(京都大),平井 義和,土屋 智由
J22317 単結晶シリコンの真空中へき開によるナノギャップ創成とその清浄破断面間の電界電子放出測定
 ◯文 和彦(京都大),霜降 真希,平井 義和,土屋 智由
J22318 単結晶シリコンのへき開破壊を用いた真空ナノギャップ間の熱電子放出測定用デバイスの作製
 ◯吉村 光葵(京都大),土屋 智由,平井 義和

9/17-18 第30回 マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES2020)
(パナソニックリゾート大阪、Online)

9/18 先端実装技術
13:40 2B4-3電流密度解析を用いた経上皮電気抵抗計測用微小電極アレイの設計
宮崎貴史. 平井義和, 亀井謙一郎, 土屋智由(京都大学), 田畑修(京都先端科学大学)

9/27-30 Virtual IEEE NEMS 2020 (Online)

IS8: Micro/Nano Engineering for Advanced Bio/Medical Systems Tuesday, September 29 11:20 -13:00 (日本時間9/30 0:20-2:00)

IS8.6 (Invited) Microfluidic platform fabricated by three-dimensional lithography enables drug test and disease modeling in vitro
Yoshikazu HIRAI, Kyoto Univ., Japan

10/4-9 μTAS2020 (Online)

e – Cells, Organisms and Organs on a Chip -Organs on Chip
T3-353.e HEART-LIVER ON A CHIP INTEGRATED WITH A MICROELECTRODE ARRAY TO MONITOR EXTRACELLULAR FIELD POTENTIALS OF CARDIOMYOCYTES
Dongxiao Zhang1, Yoshikazu Hirai1, Ken-ichiro Kamei1, Osamu Tabata1,2, and Toshiyuki Tsuchiya1
1Kyoto University, JAPAN and 2Kyoto University of Advanced Science, JAPAN

10/26-28 Future Technologies from Kumamoto (Online)

第37回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

10/27 10:10~11:40 マイクロナノシステム1
27A2-SS2-4 イオン液体エレクトロスプレースラスタの二段電極作製に向けたガラス貫通加工の検討
西邑 亜香音*1, 鷹尾 祥典2, 土屋 智由1 1 京都大学, 2 横浜国立大学

10/27 12:50~14:20 ファイナリストセッション 4
27P2-SS1-3 経上皮電気抵抗測定の高精度化に向けたOrgans-on-a-Chipの設計法
宮崎 貴史*1, 平井 義和1, 亀井 謙一郎1, 土屋智由1, 田畑 修1,2 1 京都大学, 2 京都先端科学大学

10/27 14:30~16:00 ポスターセッション
27P3-SSP-10 Si/COP水蒸気プラズマ接合によるMEMS・マイクロ流路一体化デバイス
竹村 拓樹*, 平井 義和, 土屋 智由 京都大学

10/27 16:10-18:20 FT合同招待セッション
27P4-FT-1DNAオリガミを利用したSERS分析用金ナノ粒子二量体の形成とその固定化技術
山下直輝 京都大学

第11回「マイクロ・ナノ工学シンポジウム」

10/26 13:05~14:05 医療・バイオ 1
26P2-MN1-2 細胞外電位計測を目的としたパリレン製微小電極アレイのボディ・オン・チップへの集積
張 東暁, 平井 義和*, 亀井 謙一郎, 田畑 修, 土屋 智由 京都大学

化学とマイクロ・ナノシステム学会 第42回研究会(Cheminas42)

10/27 10:10~11:40 セッション2
2P20 非アルコール性脂肪性肝疾患を再現する肝臓-小腸・オン・チップ
○亀井 謙一郎1, 楊 建東1, 飯田 慶1, 寺田 志穂1, 土屋 智由1, 田畑 修2, 平井 義和1 1 京都大学, 2 京都先端科学大学

11/9-12 MNC2020 (Online)

5-1: Microsystem Technology and MEMS I
2020-5-8 Microfabricated Vapor Cells with Monolithically Integrated Alkali Metal Dispensing Component
Shun Kiyose1, Yoshikazu Hirai1, Osamu Tabata1,2, Toshiyuki Tsuchiya1 (1 Kyoto Univ., 2 Kyoto Univ. of Advanced Sci.)

5-3: Microsystem Technology and MEMS III
2020-5-22 Tensile Strength of Single-Crystal Silicon Microstructure with Stepwise Bias-graded a-C:H Coating
Yuanlin Xia, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya (Kyoto Univ.)

2020-5-23 Ionic Liquid Electrospray Thrusters with Uniform Needle-Emitter Arrays for Precise ThrustControl
Fumiya Tachibana1, Toshiyuki Tsuchiya2 and Yoshinori Takao1 (1 Yokohama Natl. Univ., 2 Kyoto Univ.)

11/20 第31回プラズマエレクトロニクス講習会

プラズマプロセスにより作製するMEMSデバイスの最近の動向
京都大学 土屋 智由

11/26-28 5th International Conference on Emerging Electronics (IEEE-ICEE2020)

MEMS NEMS AND MICROFLUIDICS

[Invited lecture 5] Single-Crystal Lithium Niobate Piezoelectric Vibratory Disk Gyroscope
Toshiyuki Tsuchiya (Kyoto Univ., Japan)

11/27-12/4 2020 Virtual MRS Spring/Fall Meeting & Exhibit

S.SM01.02: Organ on a Chip

S.SM01.02.02 In Vitro Modeling of Non-Alcoholic Fatty Liver Disease by Integrated Gut-Liver on a Chip Jiandong Yang1,Yoshikazu Hirai1,Ken-ichiro Kamei1,Marika Trumm2,1, Toshiyuki Tsuchiya1,Osamu Tabata1
Kyoto University1,Heidelberg University2

2021年10月28日News