アルカリ金属ガスセル作製プロセスの開発

原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化，低消費電力化に加えて，測定性能の向上が期待されています．当研究室では，センサの重要な構成要素の一つである，ガスセルの新たな作製方法を研究しています．本研究では，アルカリ金属生成のための三次元微細構造をガスセル容器と一括形成することで，小型で高い測定安定性を有するガスセル作製の実証に取り組んでいます．

【参照】https://mdde.me.kyoto-u.ac.jp/research/（機能創成デバイス工学研究室のHP）

【応用先】

  • 原子時計
  • 原子磁気センサ
  • 慣性センサ

【論文・学会発表】

  • S. Kiyose et al., ‘Microfabricated alkali metal vapor cells filled with an on-chip dispensing component’, Jpn. J. of Appl. Phys., Vol. 60, SCCL01 (2021).
  • S. Kiyose et al., ‘Microfabricated alkali metal vapor cells filled with an on chip dispensing component’, Transducers2021, Online (June, 2021), B6-JI1A1.

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