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The a-C:H (Hydrogenated Amorphous Carbon) film is one of the promising coating material in MEMS indu ...

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せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します.

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MEMSの主な構造材料は,シリコン,シリコン化合物,金属薄膜などです. シリコンの機械的特性には温度依存性があることが知られていましたが,近年,寸法依存性があることも報告されており,その機械的特性の寸 ...