論文掲載-Sensors and Actuators A:Physical
アモルファスカーボンを被覆することで単結晶シリコン振動子のねじり強度を向上させた研究についての論文がSensors and Actuators A: Physical に掲載されました。
モードマッチ(100)Siリングジャイロ
近年、IoT社会の到来でセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS円環型振動ジャイロが注目されています。先行研究では、加工コストが低く材料特性のばらつきが小さい(100)単結晶シリコンを材料 ...
超高感度ガスセンサに向けた極薄シリコン振動子
Nano-scale mechanical resonator devices are considered potential candidates for building ultrasensit ...
(100) Si円環型振動ジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyrosc ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶Si並列引張試験デバイス
せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します.
バルクSiとSOIで作製したマイクロミラーの信頼性
Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, the Si-based micro mirror resonator is p ...
(100) 単結晶シリコン寸法補償同調型リングジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyrosc ...
シリコン振動子の動的局所応力測定
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり,工業製品の信頼性向上には,振動により内部のMEMSに生じる動的な応力を測定することが有用であると考えられます.本研究では時間分解顕微ラマ ...