モードマッチ(100)Siリングジャイロ
近年、IoT社会の到来でセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS円環型振動ジャイロが注目されています。先行研究では、加工コストが低く材料特性のばらつきが小さい(100)単結晶シリコンを材料とした円環型振動子が開発されていま ...
超高感度ガスセンサに向けた極薄シリコン振動子
Nano-scale mechanical resonator devices are considered potential candidates for building ultrasensitive sensors of ma ...
(100) Si円環型振動ジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyroscope (VRG) has bee ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶Si並列引張試験デバイス
せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計，作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します．
バルクSiとSOIで作製したマイクロミラーの信頼性
Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, the Si-based micro mirror resonator is possible to provid ...
(100) 単結晶シリコン寸法補償同調型リングジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyroscope (VRG) with no ...
シリコン振動子の動的局所応力測定
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり，工業製品の信頼性向上には，振動により内部のMEMSに生じる動的な応力を測定することが有用であると考えられます．本研究では時間分解顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン面外振 ...
単結晶シリコン薄膜の高温引張試験
MEMSの主な構造材料は，シリコン，シリコン化合物，金属薄膜などです． シリコンの機械的特性には温度依存性があることが知られていましたが，近年，寸法依存性があることも報告されており，その機械的特性の寸法依存性の評価が課題となっています ...