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アモルファスカーボンを被覆することで単結晶シリコン振動子のねじり強度を向上させた研究についての論文がSensors and Actuators A: Physical に掲載されました。

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近年、IoT社会の到来でセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS円環型振動ジャイロが注目されています。先行研究では、加工コストが低く材料特性のばらつきが小さい(100)単結晶シリコンを材料 ...

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Nano-scale mechanical resonator devices are considered potential candidates for building ultrasensit ...

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A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyrosc ...

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せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します.

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Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, the Si-based micro mirror resonator is p ...

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A geometrical compensation design method in (100) single crystal silicon (SCS) vibrating ring gyrosc ...

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MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり,工業製品の信頼性向上には,振動により内部のMEMSに生じる動的な応力を測定することが有用であると考えられます.本研究では時間分解顕微ラマ ...