寸法効果を用いたサブミクロンギャップ静電容量加速度センサアレイ

静電容量型MEMS加速度センサは民生品,自動車など幅広く利用されています. 本研究の目的は高感度,低ノイズ化です.本研究では感度の寸法効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案し,実現性を検証するために10×10個平面構造の1軸加速度センサアレイを作製しています.

【応用先】

• 　地震計
• 　物理探査