研究室

ナノ・マイクロシステム工学研究室では主に半導体微細加工技術で作製するナノ・マイクロスケールの機械、すなわちナノ・マイクロシステムに関する研究をしています。この領域では寸法効果によってマクロの機械とは異なった現象、たとえば身近にありながらあまり注目されない静電気気体の粘性、さらには量子効果に基づく現象を取り扱い、機械工学を新しい視線で理解することが求められています。我々は最新の加工技術、計測・評価技術、設計・解析技術を駆使して、これからの社会で利用される新たな機械を創成することを目指しています。

2020年2月撮影

メンバー

教授:土屋 智由、 助教:平井義和
秘書1名、研究員2名、
学生:博士課程4名、修士課程9名、学部生4名 (2020年4月現在)

活動拠点

主な装置

  • 薄膜引張試験装置群 (自作)
  • 顕微ラマン分光装置 (HORIBA, LabRAM HR-800)
  • 走査電子顕微鏡 (JEOL JSM-6390)
  • プローバ(レーザトリミング装置付き)
  • デジタルロックインアンプ(Zurich Instruments, HF2-LI, MF-LI)

機械系クリーンルーム設置

  • 移動マスク露光装置(大日本科研,MUM-0001)
  • 誘導結合プラズマ型反応性イオンエッチング装置(アルバック,NE-730)
  • ダイシング装置(ディスコ,DAD-322)
    • 以上の装置はナノテクノロジーハブ拠点を通じて外部の方も利用できます。
  • EB蒸着装置(ヤシマ,カスタム製作)
  • 抵抗加熱蒸着装置(アルバック機工,VPC-260F)
  • ウェッジワイヤボンダ―(超音波工業,SW-1-7K)
  • ナノインプリント装置(ボンドテック,NI-1000K)

【研究テーマ】

2020年7月16日