マイクロシステムを用いたナノ計測

マイクロシステム、MEMSのデバイスを用いたナノスケールにおける物理現象の計測技術を開発しています。

MEMSセンサでは微小な力や変位を高精度に計測しています。たとえば、加速度センサはニュートンの慣性の法則を用いて加速度を慣性力として受け、変位やひずみに変換してこれを測定していますが、おもりの質量はマイクログラムのオーダーで、加速度によるnN(10^-9N)オーダーの力をnｍ(10^-9m)オーダーの変位として測定しています。これらの技術をナノスケールでの物理現象の計測や、ナノスケール材料の材料特性の測定に応用する研究を行っています。