マイクロシステムを用いたナノ計測

マイクロシステム、MEMSのデバイスを用いたナノスケールにおける物理現象の計測技術を開発しています。

MEMSセンサでは微小な力や変位を高精度に計測しています。たとえば、加速度センサはニュートンの慣性の法則を用いて加速度を慣性力として受け、変位やひずみに変換してこれを測定していますが、おもりの質量はマイクログラムのオーダーで、加速度によるnN(10-9N)オーダーの力をnm(10-9m)オーダーの変位として測定しています。これらの技術をナノスケールでの物理現象の計測や、ナノスケール材料の材料特性の測定に応用する研究を行っています。

大面積ナノギャップ間のエネルギーキャリア輸送計測

  • へき開ナノギャップ創成、集積化計測デバイスの開発
  • 電界電子放出の測定
  • 熱放射輸送の測定
  • 低温動作熱電子発電デバイスの提案

ナノ材料の引張試験

  • 静電駆動型ナノ引張試験デバイスの開発
  • C60ナノワイヤの引張試験
  • 単層カーボンナノチューブの引張試験
  • シリコンナノワイヤの引張試験

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