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12月1日付で当研究室に廣谷潤さんが准教授として着任しました。よろしくお願いいたします。

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11/9-11にオンラインで開催された電気学会E部門主催の第38回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(センサシンポ)で当研究室の博士課程学生の楊建東(Jiandong YANG)君が奨励賞(若手研究者個人対象)を受賞しま ...

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2022/1/9-13 The 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2022) (Tokyo, JAPAN, Hybrid)

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当研究室の助教を8年間勤めて来られた平井義和先生が9月1日付で工学研究科附属工学基盤教育研究センターの講師に昇任されました。機械理工学専攻・機能創成デバイス工学研究室に配置され、独立した研究室を運営されることになります。研究室一同、心 ...

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Transducers2021国際会議(The 21st International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems)で土屋教授が連名の香港科 ...

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電気学会センサ・マイクロマシン部門誌(E部門誌)5月号に当研究室の「研究室だより」が掲載されました。

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公益財団法人 立石科学技術振興財団の2021年度研究助成(A)に土屋教授が「円環型振動子を用いたセンサ一体型MEMSリザバーコンピューティング」のテーマで採択されました。なお、贈呈式は、新型コロナウイルス感染症の拡大防止の観点から財団 ...

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1/28にオンラインで開催された応用物理学会 集積化MEMS技術研究会主催 の表記ワークショップで当研究室の博士課程学生の霜降君が優秀ポスター賞を受賞しました。おめでとうございます。

MEMSを用いた単結晶シリコンへき開面 ...