
ナノギャップを用いた熱電子発電
熱電子発電では,電極間に温度差を与え放出された熱電子を回収することで発電を行う.通常は熱 ...

アルカリ金属ガスセル作製プロセスの開発
原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化,低消費電力化に加えて,測定性能の向上が ...

リザバー計算技術を用いた知能共振加速度センサの開発
MEMSセンサの小型化と知能化を目指し, 加速度センサ内部の梁の微小振動を計算資源として ...

円筒型圧電振動ジャイロ
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化 ...

二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ
超小型宇宙機に搭載可能な新たな推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラス ...

(100)単結晶シリコンリングジャイロ
近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング ...

経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイスの開発
近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣する ...

超高感度ガスセンサに向けた極薄シリコン振動子
Nano-scale mechanical resonator devices are c ...

単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize hi ...

MEMS結合振動子によるリザバーコンピューティング
ニューロモーフィック・コンピューティングのハードウェア実装手法において,リザーバーコンピュ ...

ナノギャップ間の熱電界電子放出
熱電子発電では電極間に温度差を与え放出される電子を回収して発電を行う.通常熱電子発電には1 ...

a-C:H多層膜被覆によるSi構造の強靭化
The a-C:H (Hydrogenated Amorphous Carbon) fil ...