News

  • 学会発表 2025年5月13日
    6/29-7/3 The 23rd International Conference on Soli ...
  • Amit Banerjee先生が京都先端科学大学の准教授に着任 2025年5月1日
    当研究室の講師Amit Banerjee先生が5月1日付で京都先端科学大学に准教授として着任しました ...
  • 新年度スタート 2025年4月3日
    新年度が始まり、9名が研究室を旅立ち、新たに6名が加わります。活躍を期待しています。 修士課程 能勢 ...
  • 助教着任 2025年3月2日
    霜降真希君が3月1日付で当分野の助教に着任しました。よろしくお願いいたします。...
  • 論文掲載-Sensors and Materials 2024年8月18日
    博士課程のYuWei君の執筆した論文がSensors and Materialsに掲載されました...
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単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
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角速度センサや共振ミラー等のMEMSデバイスを真空雰囲気に封止する新技術の研究を行っています。
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顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコン面外振動試験片に生じる動的局所応力の時間分解測定を目的としています.動的応力の時間 ...
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熱電子発電は,高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行う.エミッタとコレクタの距離をナノスケ ...
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シリコンナノワイヤ(SiNW)は機械的・電気的特性に優れたナノ構造体であり,NEMS(Nano Electro Mech ...
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振動する単結晶シリコン微細構造に負荷される瞬間ごとの応力の実験的な評価を目指しています。本研究は、単結晶シリコンを主な構 ...
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社会の急速な情報化に伴って機械学習やデータ解析の需要が高まる中で、非線形物理現象の過渡的な状態変化を利用することで低い計 ...
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半導体微細加工技術を用いて作製した単結晶シリコンMEMSデバイスの梁構造に(111)面でへき開破壊を用いて数μm角の均一 ...
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超小型人工衛星に搭載可能な新たなスラスタとしてイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)が注目されている。ILE ...
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ナノ共振器はナノスケールの幅寸法を有する梁を用いた振動子のことであり、タンパク質量や原子間力といった微小な物理量を測定す ...
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MEMSの主な構造材料は,シリコン,シリコン化合物,金属薄膜などです. シリコンの機械的特性には温度依存性があることが知 ...
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ニューロモーフィック・コンピューティングのハードウェア実装手法において,リザーバーコンピューティング(RC)は、有力な候 ...