10×10静電容量型加速度センサアレイ
静電容量型加速度センサは携帯電話,自動車など幅広く利用されています.本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです.こ ...
シリコンナノワイヤのMEMS引張試験
シリコンナノワイヤ(SiNW)は機械的・電気的特性に優れたナノ構造体であり,NEMS(Nano Electro Mech ...
円筒型圧電振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている.そんな中小型 ...
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには,機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です.MEMSで広 ...
経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイス
近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chip ...
振動ジャイロの加速度感度
We investigated the source of acceleration sensitivity in fa ...
単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture str ...
集積化SiナノワイヤのMEMS引張試験
Siナノワイヤは機械的・電気的特性に優れ,これをナノスケール構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています. ...
Tensile behaviors of micron-scaled silicon coated with sub-micro meter thick PECVD DLC film
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...
静電可変形状ミラーデバイス
Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects t ...
Nanoscale mechanical resonators for mass-sensing applications
A Nanoscale mechanical resonator can be used as an efficient ...
薄膜材料の引張疲労試験・高温引張試験
材料のサイズが非常に小さくなると,その機械特性は従来のマクロスケールの材料とは異なります. しかしMEMSデバイスの構造 ...