News

  • 学会発表 2025年10月5日
    11/10-12 Future Technologies from Utsunomiya (宇都宮・ ...
  • 論文掲載-IEEE Sensors Letters 2025年7月14日
    シリコンMEMS振動子を用いた物理リザバーコンピューティングに関する論文がIEEE Sensors Lettersに掲載されました。...
  • Amit Banerjee先生が京都先端科学大学の准教授に着任 2025年5月1日
    当研究室の講師Amit Banerjee先生が5月1日付で京都先端科学大学に准教授として着任しました ...
  • 新年度スタート 2025年4月3日
    新年度が始まり、９名が研究室を旅立ち、新たに６名が加わります。活躍を期待しています。 修士課程 能勢 ...
  • 助教着任 2025年3月2日
    霜降真希君が3月1日付で当分野の助教に着任しました。よろしくお願いいたします。...
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静電容量型加速度センサは携帯電話，自動車など幅広く利用されています．本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです．こ ...
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MEMSデバイスの構造材料として，半導体材料であるシリコンは広く用いられていますが，脆性材料であることからその機械的信頼 ...
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Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects t ...
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A Nanoscale mechanical resonator can be used as an efficient ...
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The a-C:H (Hydrogenated Amorphous Carbon) film is one of the ...
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物理ダイナミクスを計算資源として活用する物理リザバーコンピューティングと端末側に情報処理の役割を担わせるエッジコンピュー ...
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シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから，これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイス ...
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Siで構成されるMEMSアクチュエータと，構造を封止する透明材料の接合プロセスとして水蒸気プラズマ処理を用い，常温での異 ...
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We developed a microelectromechanical system (MEMS) to fabri ...
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ねじれ梁型MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で，内視鏡・Lidar等の空間スキ ...
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熱ストレスの小さいMEMS真空封止技術を実現することを目的として，ナノスケール厚で積層させたAl/Ni膜の合金化反応熱を ...
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　眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため，リアルタイムかつ精密に補正する必要があり，その手法として，変形 ...