シリコンナノワイヤを用いたねじり梁型共振ミラー
ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです．近年では車載用測距センサ用に用いられること ...
架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価
シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから，これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイス ...
リザバーSAWデバイスの開発
物理ダイナミクスを計算資源として活用する物理リザバーコンピューティングと端末側に情報処理の役割を担わせるエッジコンピュー ...
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling applications
We developed a microelectromechanical system (MEMS) to fabri ...
MEMS リザバーコンピューティング
リザバーコンピューティング(RC)は学習コストが小さい機械学習手法であり, 分散された情報端末に実装することでネットワー ...
熱電子発電のためのナノギャップデバイス
真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により， ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶Si並列引張試験デバイス
せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計，作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します．
単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture str ...
熱電子発電のための へき開面間の電子放出の温度依存性評価
Evaluate the temperature dependence of the electron emission ...
Geometrical Compensation for Mode-Matching of (100) Silicon Ring Resonator for Vibratory Gyroscope
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
単結晶へき開面ナノギャップの物性
熱電子発電は，高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行います．エミッタとコレクタの距離をナノ ...
共振型加速度センサを用いた MEMSリザバーコンピューティング
非線形物理ダイナミクスを計算資源として活用できるリザバーコンピューティングはポスト・ムーアのコンピューティング技術の１つ ...