一本鎖DNAを修飾したSWCNTの特性評価
SWCNT(単層カーボンナノチューブ)は優れた機械特性を示すことが知られています.しかし,その小ささゆえに実験データは多 ...
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling cooling
A microelectromechanical system (MEMS) is being developed fo ...
大変位による非線形応答を考慮した静電櫛歯型MEMSデバイスの電気等価回路の構築
MEMSデバイスは半導体微細加工技術を用い,微小な機械構造を電子回路とともに作りこむものです.そのためMEMSデバイスの ...
ナノギャップ創製デバイス
電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と,真空による高い熱絶縁性により,真空ナノギャップを熱と電気を高効 ...
単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験
ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは,ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデ ...
薄膜材料の引張疲労試験・高温引張試験
材料のサイズが非常に小さくなると,その機械特性は従来のマクロスケールの材料とは異なります. しかしMEMSデバイスの構造 ...
Tensile behaviors of micron-scaled silicon structure fully coated with sub-micro meter thick DLC film deposited using PECVD
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...
集積化SiナノワイヤのMEMS引張試験
Siナノワイヤは機械的・電気的特性に優れ,これをナノスケール構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています. ...
シリコンナノワイヤ製ねじれ梁の寸法効果を利用した MEMSチルトミラーの高信頼化
ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです.近年では車載用測 ...
一本鎖DNA修飾によるSWCNTの高収率孤立架橋アセンブル手法
本研究では優れた電気・機械的特性を持つ単層カーボンナノチューブ(SWCNT)のばらつきを含む特性評価を目的とし,SWC ...
電気等価回路解析を利用した静電容量型ジャイロの開発
本研究では,電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています.静電容量型MEMSデバイ ...
単結晶へき開面ナノギャップの物性
熱電子発電は,高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行います.エミッタとコレクタの距離をナノ ...