アルカリ金属ガスセル作製プロセスの開発
原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化，低消費電力化に加えて，測定性能の向上が期待されています．当研究室では ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶Si並列引張試験デバイス
せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計，作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します．
架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価
シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから，これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイス ...
熱電子発電のための へき開面ナノギャップの熱輸送特性評価
熱電子発電は高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し，発電を行う．本来，熱電子発電では1000℃程度 ...
MEMSミラーアレイの同期振動手法開発
ねじれ梁型MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で，内視鏡・Lidar等の空間スキ ...
Geometrical Compensation for Mode-Matching of (100) Silicon Ring Resonator for Vibratory Gyroscope
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
Si振動子の時間分解顕微ラマン応力測定
顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコン面外振動試験片に生じる動的局所応力の時間分解測定を目的としています．動的応力の時間 ...
二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ
超小型宇宙機に搭載可能な新たな推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ（ILEST）の開発を行って ...
せん断型ひずみゲージ集積単結晶Si並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております．本研究では ...
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力測定
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の設計およびその信頼性の定量的な評価には、微 ...
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling cooling
A microelectromechanical system (MEMS) is being developed fo ...