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眼底検査の際に発生する光学収差(光の波面の歪み)は撮像の解像度の低下の原因となるため、より高解像度な観察を行うために可変 ...
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カーボンナノチューブ(CNT)は興味深い特性を併せ持つことから微小な電気回路やセンサの構成要素としての応用が期待されてい ...
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DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...
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A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
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近年、IoT社会の到来でセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS円環型振動ジャイロが注目されています。先行研 ...
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Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
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近年,高速かつ省消費電力な機械学習の実装方法として物理リザバーコンピューティング(PRC)が注目されています.本研究では ...
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Siで構成されるMEMSアクチュエータと,構造を封止する透明材料の接合プロセスとして水蒸気プラズマ処理を用い,常温での異 ...
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統計評価可能な測定数実現をめざし、カーボンナノチューブ(CNT)引張試験法を開発しています。CNTは極めて微小なため欠陥 ...
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本研究では,電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています.静電容量型MEMSデバイ ...
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電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と,真空による高い熱絶縁性により,真空ナノギャップを熱と電気を高効 ...
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眼底を観察する際に光の収差を補正するデバイスとして可変形状ミラーが用いられます.当研究室では従来の静電駆動による可変形状 ...