News

  • 学会発表 2023年11月29日
    2024/1/21-25 The 37th International Conference on ...
  • 論文掲載-JJAP 2023年11月23日
    博士3年霜降真希君の執筆した論文がJJAPに掲載されました...
  • 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門2022年度表彰 2023年11月20日
    11/6-9に熊本で開催された第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウムにて2022年度の日本機械学会マ ...
  • 論文掲載-Sensors and Actuators A:Physical 2023年10月8日
    アモルファスカーボンを被覆することで単結晶シリコン振動子のねじり強度を向上させた研究についての論文がSensors and Actuators A: Physical に掲載されました。...
  • 論文掲載-Microsystem Technologies 2023年5月17日
    表面弾性波素子を用いた物理リザバーコンピューティングに関する論文がMicrosystem Technologiesに掲載されました。...
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リザバーコンピューティング(RC)とは時系列で変化する信号に対し,分類や予測などを行う際に用いられる機械学習手法の一つで ...
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DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising  ...
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眼底を観察する際に光の収差を補正するデバイスとして可変形状ミラーが用いられます.当研究室では従来の静電駆動による可変形状 ...
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原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化,低消費電力化に加えて,測定性能の向上が期待されています.当研究室では ...
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A microelectromechanical system (MEMS) is being developed fo ...
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The purpose of this research is to realize high fracture str ...
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電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と,真空による高い熱絶縁性により,真空ナノギャップを熱と電気を高効 ...
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ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです.近年では車載用測 ...
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せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します.
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MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり,工業製品の信頼性向上には,振動により内部のMEMSに生じ ...
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単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.