MEMSを用いた情報処理
リザバーコンピューティング（RC）とは時系列で変化する信号に対し,分類や予測などを行う際に用いられる機械学習手法の一つで ...
DLC膜で被覆したシリコンの引張試験
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising ...
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー
眼底を観察する際に光の収差を補正するデバイスとして可変形状ミラーが用いられます．当研究室では従来の静電駆動による可変形状 ...
アルカリ金属ガスセル
原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化，低消費電力化に加えて，測定性能の向上が期待されています．当研究室では ...
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling cooling
A microelectromechanical system (MEMS) is being developed fo ...
単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture str ...
ナノギャップ創製デバイス
電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と，真空による高い熱絶縁性により，真空ナノギャップを熱と電気を高効 ...
シリコンナノワイヤ製ねじれ梁の寸法効果を利用した MEMSチルトミラーの高信頼化
ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです．近年では車載用測 ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶Si並列引張試験デバイス
せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計，作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します．
シリコン振動子の動的局所応力測定
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり，工業製品の信頼性向上には，振動により内部のMEMSに生じ ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．
Tensile behaviors of micron-scaled silicon structure fully coated with sub-micro meter thick DLC film deposited using PECVD
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...