研究者の方へ

ナノ・マイクロシステム工学研究室へようこそ。当グループではMEMS(微小電気機械システム)について幅広い観点での研究を行っています。主として、センサ、アクチュエータとそれを実現する加工技術、材料技術、またそれらの評価技術についての研究テーマを実施しています。詳細はウェブサイトをご覧ください。

 研究室のスタッフは京都大学ナノテクノロジーハブ拠点の設立から深いかかわりを持ち、現在もヘビーユーザであるとともに運営への協力も行っています。従前より企業との共同研究も多く実施しています。特に、シリコンMEMS、さらにはその機械的信頼性については、多数のデータを取得しておりましてお役に立てることも多いと思います。次のような方、ぜひご相談ください。

  • アイデアがあり微細加工を用いてデバイスを試作したいがどこから手を付けていいかわからない。
  • MEMSを作ってみた、使ってみたがどうも理解できない部分がある。
  • 今考えているアプリケーションにMEMSを使いたいが、これでよいか、また信頼性的に大丈夫かどうかわからない。

 大学との共同研究など、産学連携の枠組みについてはこちらを確認ください。わからないことがあればご連絡いただければ幸いです。

2020年2月23日