マイクロ・ナノ機械の信頼性

マイクロシステム・MEMSの機械的信頼性評価の研究

MEMSセンサ・アクチュエータは小型で可搬性が高いため輸送機械やポータブル機器での利用が盛んです。これらの「移動する」機械では動作時に振動や衝撃を受けることが多く、また、温度や湿度も様々に変化することがあり、過酷な環境でも安定して動作することが求められています。我々はMEMSの機械的信頼性について、特にその評価技術の開発とMEMSの基本材料であるシリコンの機械的信頼性についての研究を行っています。