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MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.弾性特性,圧電特性において結晶異方性を有するニオブ酸リチウムでモードマッチングしたワイングラス振動を実現するため,最適 ...

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単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.