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近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている.そんな中小型、低価格、高性能であるMEMS圧電振動ジャイロが注目を集めている。先行研究では高性能が期待されるニオブ酸リチウムを ...

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MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.弾性特性,圧電特性において結晶異方性を有するニオブ酸リチウムでモードマッチングしたワイングラス振動を実現するため,最適 ...

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単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.