(100) 単結晶シリコン寸法補償同調型リングジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
静電可変形状ミラーデバイス
Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects t ...
リング型ジャイロの静電チューニング
MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります．静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にす ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
熱電子発電のためのナノギャップデバイス
単結晶シリコンのへき開破壊によるナノギャップ形成と，ギャップ間隔制御，電流計測が可能なデバイス
MEMSマイクロミラーの信頼性
ねじり梁を用いたMEMSミラーはセンサーやメディアデバイスに用いられる重要な要素部品です. MEMSミラーは基板材料とし ...
シリコンナノワイヤのMEMS引張試験
シリコンナノワイヤ(SiNW)は機械的・電気的特性に優れたナノ構造体であり，NEMS(Nano Electro Mech ...
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには，機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です．MEMSで広 ...
幾何学的補償を用いた (100) 単結晶シリコンモードマッチ振動リングジャイロスコープ
MEMS gyroscopes for measuring rate or angle of rotation can ...
MEMS結合振動子によるリザバーコンピューティング
ニューロモーフィック・コンピューティングのハードウェア実装手法において，リザーバーコンピューティング（RC）は、有力な候 ...
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling cooling
A microelectromechanical system (MEMS) is being developed fo ...
フォノニック結晶導波路を用いたLoveモード表面弾性波デバイスの解析
表面弾性波（SAW）デバイスは高周波信号処理に広く用いられている。しかし、次世代アプリケーションの開発では、従来のSAW ...