単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには，機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です．MEMSで広 ...
MEMS リザバーコンピューティング
リザバーコンピューティング(RC)は学習コストが小さい機械学習手法であり, 分散された情報端末に実装することでネットワー ...
MEMS結合振動子を用いた機械学習の多元化
近年，高速かつ省消費電力な機械学習の実装方法として物理リザバーコンピューティング（PRC）が注目されています．本研究では ...
MEMSリザバーコンピューティング
非線形物理ダイナミクスを計算資源として活用した物理リザバーコンピューティング(PRC)が注目されており, PRCを実装し ...
Al/Ni多層膜の自己伝播発熱反応を用いたMEMS振動デバイスの真空封止
角速度センサや共振ミラー等のMEMSデバイスを真空雰囲気に封止する新技術の研究を行っています。
MXene/CNT薄膜の作製と電気化学特性評価
２次元層状のナノ材料であるMXeneは優れた電気化学特性を示し、豊富な官能基を持つことから、様々な電気化学デバイスへの応 ...
Training MEMS devices for forecasting epileptic-seizures
Epilepsy is a chronic neurological disorder of the central n ...
バルクSiとSOIで作製したマイクロミラーの信頼性
Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, ...
DNAオリガミ複合体精製用マイクロ流体デバイス
DNAオリガミ混合物を精製するため誘電泳動を用いたマイクロ流体デバイスを提案し，デバイスの試作を行った．
アルカリ金属ガスセル作製プロセスの開発
原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化，低消費電力化に加えて，測定性能の向上が期待されています．当研究室では ...
熱電子発電のための へき開面ナノギャップの熱輸送特性評価
熱電子発電は高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し，発電を行う．本来，熱電子発電では1000℃程度 ...
機械学習による深さ方向熱伝導率解析
集積回路やパワーデバイスなどの半導体デバイスにおける発熱密度の上昇は喫緊の課題となっている。デバイス動作時の熱物性を評価 ...