センサ・アクチュエータ

静電容量型トランスデューサを中心に加速度センサ・角速度センサなどのセンサデバイス、光学素子などのアクチュエータデバイスの研究開発を行っています。

慣性センサ

• 単一マスの単結晶シリコン静電容量型3軸加速度センサ
• 静電容量型加速度センサアレイ
• (100)Siを用いた静電容量型リングジャイロ
• 単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電型ディスクジャイロ

光学素子

• 静電駆動型光チョッパ
• 静電ピストンアレイを用いた可変形状ミラー
• ねじり振動型ミラーアレイ