論文掲載-Sensors and Actuators A:Physical
アモルファスカーボンを被覆することで単結晶シリコン振動子のねじり強度を向上させた研究についての論文がSensors and Actuators A: Physical に掲載されました。
単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture strength and long fatigue life micromirrors ...
MEMSマイクロミラーの信頼性
ねじり梁を用いたMEMSミラーはセンサーやメディアデバイスに用いられる重要な要素部品です. MEMSミラーは基板材料としてバルクSiウエハを用いることで従来のSOIウエハに比べ大幅に材料コストを低減す ...
バルクSiとSOIで作製したマイクロミラーの信頼性
Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, the Si-based micro mirror resonator is p ...