単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture strength and long fatigue life micromirrors with low cost. W ...
MEMSマイクロミラーの信頼性
ねじり梁を用いたMEMSミラーはセンサーやメディアデバイスに用いられる重要な要素部品です. MEMSミラーは基板材料としてバルクSiウエハを用いることで従来のSOIウエハに比べ大幅に材料コストを低減することができます. 本研究では低コ ...
バルクSiとSOIで作製したマイクロミラーの信頼性
Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, the Si-based micro mirror resonator is possible to provid ...