シリコンナノワイヤ製ねじれ梁の寸法効果を利用した MEMSチルトミラーの高信頼化
ねじり梁型MEMSミラーはレーザーの反射角度を連続的に変化させることで空間を走査を実現するデバイスです．近年では車載用測 ...
単結晶へき開面ナノギャップの物性
熱電子発電は，高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行います．エミッタとコレクタの距離をナノ ...
Tensile behaviors of micron-scaled silicon coated with sub-micro meter thick PECVD DLC film
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
顕微ラマン分光を用いたへき開面ナノギャップの温度差測定
真空ナノギャップ電極は通常の物質では困難な熱発電効率を飛躍的に向上し得るとして注目されているが、従来の方法で作製できるナ ...
単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture str ...
10×10静電容量型加速度センサアレイ
静電容量型加速度センサは携帯電話，自動車など幅広く利用されています．本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです．こ ...
電気等価回路解析を利用した静電容量型ジャイロの開発
本研究では，電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています．静電容量型MEMSデバイ ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
In order to shorten testing time on tensile-mode fatigue tes ...
MEMSミラーアレイの同期振動手法開発
ねじれ梁型MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で，内視鏡・Lidar等の空間スキ ...
シリコン振動子の動的局所応力測定
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり，工業製品の信頼性向上には，振動により内部のMEMSに生じ ...
Ultrathin Si resonator for gas sensing
Nano-scale mechanical resonator devices have emerged as prom ...