Si振動子の時間分解顕微ラマン応力測定

顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコン面外振動試験片に生じる動的局所応力の時間分解測定を目的としています．動的応力の時間分解測定には，顕微ラマン分光装置の励起光としてパルスレーザを用いる必要があるため，本研究では連続波レーザを機械的に変調するMEMS光チョッパの開発・評価を行い，単結晶シリコン面外振動試験片の時間分解顕微ラマン応力測定を実現しました．

【応用先】

• 　角速度センサのような振動利用型デバイスの信頼性評価
• 　種々の条件下での疲労試験サンプルと実デバイスとの比較

[論文]

• “Doube-side-drive electrostatic optical chopper for time-resolved Raman spectroscopy” Optical MEMS and Nanophotonics, 19 August 2014.
• “時間分解顕微ラマン分光のための両側静電駆動MEMS光チョッパ”, 日本機械学会 2014年度年次大会, 平成26年9月8日