架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価
シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから,これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています.応用デバイスの実用化と信頼性の向上には,実際に応用デバイスで用いられるSiNWと同一の作製プロセスを経たSiNWの機械特性の評価が必要です.本研究では,SiNWの引張強度評価のため,MEMS上へのSiNW集積化プロセスの開発とそのプロセスにより作製されたSiNWの引張試験を行っています.
[応用先]
- 高速・低消費電力電界効果トランジスタ
- 高感度バイオセンサ
- ナノ共振子
- T. Hemmi et al., 26th Micromechanics and Microsystems Europe workshop, 2015.
- T. Hemmi et al., 第7回マイクロ・ナノ工学シンポジウム, 2015.