論文掲載-Sensors and Actuators A:Physical
アモルファスカーボンを被覆することで単結晶シリコン振動子のねじり強度を向上させた研究についての論文がSensors and Actuators A: Physical に掲載されました。
MEMSマイクロミラーアレイの同期振動
MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で、内視鏡・Lidar等の空間走査システムへの応用に向け高性能化が望まれています。しかし、現状鏡面のゆがみや梁応力により性能 ...
単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture strength and long fatigue life micromirrors ...
MEMSマイクロミラーの信頼性
ねじり梁を用いたMEMSミラーはセンサーやメディアデバイスに用いられる重要な要素部品です. MEMSミラーは基板材料としてバルクSiウエハを用いることで従来のSOIウエハに比べ大幅に材料コストを低減す ...
バルクSiとSOIで作製したマイクロミラーの信頼性
Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, the Si-based micro mirror resonator is p ...
静電可変形状ミラーデバイス
Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects the wave front aberrations. This system i ...