Tensile behaviors of micron-scaled silicon structure fully coated with sub-micro meter thick DLC film deposited using PECVD
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...
MXene/CNT薄膜の作製と電気化学特性評価
２次元層状のナノ材料であるMXeneは優れた電気化学特性を示し、豊富な官能基を持つことから、様々な電気化学デバイスへの応 ...
MEMSミラーアレイの同期振動手法開発
ねじれ梁型MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で，内視鏡・Lidar等の空間スキ ...
シリコンナノワイヤを用いたねじり梁型共振ミラー
ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです．近年では車載用測距センサ用に用いられること ...
二段電極型イオン液体ESスラスタ
超小型宇宙機に搭載可能な推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)の開発を行っています ...
CNT-TFT応答電流による物理リザバー評価
物理リザバーコンピューティングは、時系列信号を低電力かつ高速で処理できる機械学習法です。本研究では、カーボンナノチューブ ...
リング型ジャイロの静電チューニング
MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります．静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にす ...
Al/Ni多層膜の自己伝播発熱反応を用いたMEMS振動デバイスの真空封止
角速度センサや共振ミラー等のMEMSデバイスを真空雰囲気に封止する新技術の研究を行っています。
(100)単結晶シリコンリングジャイロ
近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性 ...
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー
眼底を観察する際に光の収差を補正するデバイスとして可変形状ミラーが用いられます．当研究室では従来の静電駆動による可変形状 ...
Si振動子の時間分解顕微ラマン応力測定
顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコン面外振動試験片に生じる動的局所応力の時間分解測定を目的としています．動的応力の時間 ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...