(100)単結晶シリコンリングジャイロ

近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性能であることから、注目を集めている。先行研究では、一般的に使用されている材料より加工コストが低い(100)単結晶シリコンを材料としてリング型振動子を開発した。しかし、半導体微細加工プロセスの過程で生じる加工誤差が問題となり、性能が低下した。そこで、本研究では振動子の形状を対称的な構造とし、加工誤差への耐性を有するリング型振動ジャイロを設計した。

【応用先】

  •  カメラの手振れ補正機能
  •  自動車の自動運転機能

Research,SensorGyroscope