リング型ジャイロの静電チューニング

MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります．静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にするため，静電力を加え振動子の剛性を調節する手法です．本研究では(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの周波数応答を解析し，感度とバイアス安定性において最適な静電チューニングを提案しました．

【応用先】