CNT-TFT応答電流による物理リザバー評価
物理リザバーコンピューティングは、時系列信号を低電力かつ高速で処理できる機械学習法です。本研究では、カーボンナノチューブ ...
振動型ミラーに用いる単結晶シリコン梁のねじり強度の加工プロセス依存性評価
MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され，製法によりデバイスの形状やコストの点 ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶Si並列引張試験デバイス
せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計，作製し高い負荷周波数での引張疲労試験の実現を目指します．
シリコンマイクロ構造体の信頼性評価
MEMSデバイスの構造材料として，半導体材料であるシリコンは広く用いられていますが，脆性材料であることからその機械的信頼 ...
単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験
ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは，ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデ ...
駆動電極可動型MEMS静電可変形状ミラー
眼底検査の検査光は，眼球の歪みや大気の振動によって歪んでしまうため，光の波面収差をリアルタイムかつ精密に補正する技術が必 ...
単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture str ...
リザバー計算技術を用いた知能共振加速度センサの開発
MEMSセンサの小型化と知能化を目指し, 加速度センサ内部の梁の微小振動を計算資源として利用可能なリザバーコンピューテ ...
シリコン振動子の動的局所応力測定
MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり，工業製品の信頼性向上には，振動により内部のMEMSに生じ ...
一本鎖DNAを修飾したSWCNTの特性評価
SWCNT（単層カーボンナノチューブ）は優れた機械特性を示すことが知られています．しかし，その小ささゆえに実験データは多 ...
MEMSを用いた情報処理
リザバーコンピューティング（RC）とは時系列で変化する信号に対し,分類や予測などを行う際に用いられる機械学習手法の一つで ...
せん断型ひずみゲージ集積単結晶Si並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております．本研究では ...