News

  • 学会発表 2023年11月29日
    2024/1/21-25 The 37th International Conference on ...
  • 論文掲載-JJAP 2023年11月23日
    博士3年霜降真希君の執筆した論文がJJAPに掲載されました...
  • 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門2022年度表彰 2023年11月20日
    11/6-9に熊本で開催された第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウムにて2022年度の日本機械学会マ ...
  • 論文掲載-Sensors and Actuators A:Physical 2023年10月8日
    アモルファスカーボンを被覆することで単結晶シリコン振動子のねじり強度を向上させた研究についての論文がSensors and Actuators A: Physical に掲載されました。...
  • 論文掲載-Microsystem Technologies 2023年5月17日
    表面弾性波素子を用いた物理リザバーコンピューティングに関する論文がMicrosystem Technologiesに掲載されました。...
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A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
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社会の急速な情報化に伴って機械学習やデータ解析の需要が高まる中で、非線形物理現象の過渡的な状態変化を利用することで低い計 ...
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MEMSの主な構造材料は,シリコン,シリコン化合物,金属薄膜などです. シリコンの機械的特性には温度依存性があることが知 ...
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DNAオリガミ混合物を精製するため誘電泳動を用いたマイクロ流体デバイスを提案し,デバイスの試作を行った.
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ニューロモーフィック・コンピューティングのハードウェア実装手法において,リザーバーコンピューティング(RC)は、有力な候 ...
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眼底検査の検査光は,眼球の歪みや大気の振動によって歪んでしまうため,光の波面収差をリアルタイムかつ精密に補正する技術が必 ...
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3軸加速度センサの感度をベクトル量で表す「マトリックス感度校正」が提案されています.本手法の実用化のためには複数個のセン ...
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Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
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Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
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半導体微細加工技術を用いて作製した単結晶シリコンMEMSデバイスの梁構造に(111)面でへき開破壊を用いて数μm角の均一 ...
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Siで構成されるMEMSアクチュエータと,構造を封止する透明材料の接合プロセスとして水蒸気プラズマ処理を用い,常温での異 ...