静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー

眼底を観察する際に光の収差を補正するデバイスとして可変形状ミラーが用いられます.当研究室では従来の静電駆動による可変形状ミラーでは困難である,より大きな変位,自由度の高い変形を実現するためピストン構造を採用した可変形状ミラーを提案し,研究が進められています.本研究では実際に作製したデバイスによる駆動実験及び構築した数理解析モデルを用いて目標の形状を実現するための電圧印加パターンの導出を行っています.

応用先

  •  医療診断に有用な眼底撮影の解像度向上

【発表】

  • Akiko Uno, Yoshikazu Hirai, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu TabataMEMS
    Deformable Mirror Actuated By Electrostatic Piston Array
    The 2016 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN 2016), Singapore (31 July-4 August, 2016), pp.55-56

2017年4月8日Actuators,Research