News

  • 学会発表 2022年11月6日
    2023/1/15-19 The 36th International Conference on ...
  • 日本機械学会誌特集『超精密加工の最前線』 2022年10月11日
    機械学会誌10月号『超精密加工の最前線』はマイクロ・ナノ工学部門の10周年を記念した関連記事が掲載さ ...
  • 博士論文公聴会 2022年8月2日
    8/10(水)午後1時より夏 园林 (Xia, Yuanlin)君の博士学位論文公聴会を開催いたします。...
  • マイクロナノ先端技術交流会 2022年7月15日
    7/27(水)第42回マイクロナノ先端技術交流会にて土屋教授が「MEMSリザバーコンピューティング」と題する講演を行います。...
  • Yano E plus 2022年6月17日
    矢野経済研究所の刊行するYano E plus の2022年6月号(No.171)掲載の「MEMS技術シリーズ(1)~総論~」のなかで 土屋研のMEMS研究を紹介していただきました。...

 

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Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工