News

  • 学会発表 2023年11月29日
    2024/1/21-25 The 37th International Conference on ...
  • 論文掲載-JJAP 2023年11月23日
    博士3年霜降真希君の執筆した論文がJJAPに掲載されました...
  • 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門2022年度表彰 2023年11月20日
    11/6-9に熊本で開催された第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウムにて2022年度の日本機械学会マ ...
  • 論文掲載-Sensors and Actuators A:Physical 2023年10月8日
    アモルファスカーボンを被覆することで単結晶シリコン振動子のねじり強度を向上させた研究についての論文がSensors and Actuators A: Physical に掲載されました。...
  • 論文掲載-Microsystem Technologies 2023年5月17日
    表面弾性波素子を用いた物理リザバーコンピューティングに関する論文がMicrosystem Technologiesに掲載されました。...
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 眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形 ...
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シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから,これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイス ...
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真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により, ...
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 本研究では優れた電気・機械的特性を持つ単層カーボンナノチューブ(SWCNT)のばらつきを含む特性評価を目的とし,SWC ...
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高感度,低ノイズ,耐久性といった特性が要求される物理探査用加速度センサとして我々は,櫛歯型垂直変位電極を応用したSOI静 ...
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材料のサイズが非常に小さくなると,その機械特性は従来のマクロスケールの材料とは異なります. しかしMEMSデバイスの構造 ...
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近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chip ...
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DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising  ...
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A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
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We investigated the source of acceleration sensitivity in fa ...
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The a-C:H (Hydrogenated Amorphous Carbon) film is one of the ...