MEMSミラーアレイの同期振動手法開発

ねじれ梁型MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で，内視鏡・Lidar等の空間スキャナへの応用に向け高性能化が望まれるが，鏡面たわみや梁応力により性能制限がある．本研究では，鏡部縮小とねじれ梁細線化による鏡面たわみや梁応力の低減，ミラーのアレイ配置による反射面積補償，アレイの同期振動を組み合わせた性能改善手法を提案している．同期手法として，複数のミラーを個別に制御する手法，隣接するミラーを静電引力により結合し連成振動させる手法を開発した．

【論文・学会発表】

–  Mikiya Oki, Amit Banerjee, Jun Hirotani, Toshiyuki Tsuchiya, Synchronous vibration of 1×2 torsional micromirror array,  The 49th International Coneference on Micro ＆ Nano Engineering (MNE 2023), Berlin, Germany (Sep. 25-28, 2023), pp. 781-782

– 大木幹也，Amit Banerjee，廣谷潤，土屋智由，静電駆動単結晶シリコンMEMSミラーの1×2アレイ同期振動，第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，熊本，2023年11月6-8日，8P2-PS-9