News

  • 学会発表 2023年11月29日
    2024/1/21-25 The 37th International Conference on ...
  • 論文掲載-JJAP 2023年11月23日
    博士3年霜降真希君の執筆した論文がJJAPに掲載されました...
  • 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門2022年度表彰 2023年11月20日
    11/6-9に熊本で開催された第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウムにて2022年度の日本機械学会マ ...
  • 論文掲載-Sensors and Actuators A:Physical 2023年10月8日
    アモルファスカーボンを被覆することで単結晶シリコン振動子のねじり強度を向上させた研究についての論文がSensors and Actuators A: Physical に掲載されました。...
  • 論文掲載-Microsystem Technologies 2023年5月17日
    表面弾性波素子を用いた物理リザバーコンピューティングに関する論文がMicrosystem Technologiesに掲載されました。...
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2次元層状のナノ材料であるMXeneは優れた電気化学特性を示し、豊富な官能基を持つことから、様々な電気化学デバイスへの応 ...
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近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性 ...
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単結晶シリコンのへき開破壊によるナノギャップ形成と,ギャップ間隔制御,電流計測が可能なデバイス
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単結晶シリコンマイクロ構造の引張疲労破壊特性を短い時間で測定する方法として,集積したひずみゲージを用いた並列引張試験方法 ...
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物理ダイナミクスを計算資源として活用する物理リザバーコンピューティングと端末側に情報処理の役割を担わせるエッジコンピュー ...
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MEMSミラーデバイスは主にSOIウエハとバルクシリコンウエハの2種類から作製され,製法によりデバイスの形状やコストの点 ...
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単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
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We developed a microelectromechanical system (MEMS) to fabri ...
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ねじり梁を用いたMEMSミラーはセンサーやメディアデバイスに用いられる重要な要素部品です. MEMSミラーは基板材料とし ...
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MEMSデバイスの構造材料として,半導体材料であるシリコンは広く用いられていますが,脆性材料であることからその機械的信頼 ...
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眼底検査の検査光は,眼球の歪みや大気の振動によって歪んでしまうため,光の波面収差をリアルタイムかつ精密に補正する技術が必 ...
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MEMSは振動環境下にさらされる工業製品に搭載されることがあり,工業製品の信頼性向上には,振動により内部のMEMSに生じ ...