一本鎖DNAを修飾したSWCNTの特性評価
SWCNT（単層カーボンナノチューブ）は優れた機械特性を示すことが知られています．しかし，その小ささゆえに実験データは多 ...
集積化SiナノワイヤのMEMS引張試験
Siナノワイヤは機械的・電気的特性に優れ，これをナノスケール構造体要素として用いた幅広い応用デバイスが注目されています． ...
寸法効果を用いたサブミクロンギャップ静電容量加速度センサアレイ
静電容量型MEMS加速度センサは民生品,自動車など幅広く利用されています. 本研究の目的は高感度,低ノイズ化です.本研究 ...
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには，機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です．MEMSで広 ...
熱電子発電のためのナノギャップデバイス
真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により， ...
振動ジャイロの加速度感度
We investigated the source of acceleration sensitivity in fa ...
a-C:H多層膜被覆によるSi構造の強靭化
The a-C:H (Hydrogenated Amorphous Carbon) film is one of the ...
MEMS リザバーコンピューティング
リザバーコンピューティング(RC)は学習コストが小さい機械学習手法であり, 分散された情報端末に実装することでネットワー ...
超高感度ガスセンサに向けた極薄シリコン振動子
Nano-scale mechanical resonator devices are considered poten ...
(100) 単結晶シリコン寸法補償同調型リングジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
MEMSマイクロミラーアレイの同期振動
MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で、内視鏡・Lidar等の空間走査システムへ ...
Geometrical Compensation for Mode-Matching of (100) Silicon Ring Resonator for Vibratory Gyroscope
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...