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振動ジャイロの加速度感度
We investigated the source of acceleration sensitivity in fa ...
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二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ
超小型宇宙機に搭載可能な新たな推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)の開発を行って ...
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イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発
Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
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寸法効果を用いたサブミクロンギャップ静電容量加速度センサアレイ
静電容量型MEMS加速度センサは民生品,自動車など幅広く利用されています. 本研究の目的は高感度,低ノイズ化です.本研究 ...
![Thumbnail of post image 154](https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/nms/wp-content/uploads/2017/04/yuanlin-150x150.jpg)
Tensile behaviors of micron-scaled silicon coated with sub-micro meter thick PECVD DLC film
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...
![Thumbnail of post image 006](https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/nms/wp-content/uploads/2017/04/uno-150x150.jpg)
静電型ピストンアレイ駆動のMEMS可変形状ミラーの開発
眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形 ...
![Thumbnail of post image 171](https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/nms/wp-content/uploads/2018/06/obitani-150x150.jpg)
単結晶シリコンねじり梁を用いた振動型ミラーの共振疲労試験
ねじり梁を用いた振動型MEMSミラーは,ねじり梁に支持されたミラーを振動させることでレーザー光などの空間走査を実現するデ ...
![Thumbnail of post image 168](https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/nms/wp-content/uploads/2019/06/mori-150x150.jpg)
熱電子発電のためのナノギャップデバイス
真空による高熱絶縁性や、ギャップ間隔がナノメートルオーダの電極間における熱電子放出・電界電子放出による高い導電性により, ...
![Thumbnail of post image 091](https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/nms/wp-content/uploads/2020/07/E-W-1-150x150.png)
電気等価回路を用いた静電櫛歯トランスデューサの解析
静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されて ...
![Thumbnail of post image 032](https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/nms/wp-content/uploads/2023/03/mizumoto-150x150.jpg)
共振型加速度センサを用いた MEMSリザバーコンピューティング
非線形物理ダイナミクスを計算資源として活用できるリザバーコンピューティングはポスト・ムーアのコンピューティング技術の1つ ...
![Thumbnail of post image 179](https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/nms/wp-content/uploads/2020/07/image-26-150x150.png)
熱電子発電のための へき開面間の電子放出の温度依存性評価
Evaluate the temperature dependence of the electron emission ...
![Thumbnail of post image 010](https://www.nms.me.kyoto-u.ac.jp/nms/wp-content/uploads/2023/03/morita-150x150.jpg)
円筒型圧電振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている.そんな中小型 ...