単結晶シリコン薄膜の高温引張試験
MEMSの主な構造材料は，シリコン，シリコン化合物，金属薄膜などです． シリコンの機械的特性には温度依存性があることが知 ...
顕微ラマン分光を用いたへき開面ナノギャップの温度差測定
真空ナノギャップ電極は通常の物質では困難な熱発電効率を飛躍的に向上し得るとして注目されているが、従来の方法で作製できるナ ...
非線形熱伝導現象を用いた物理リザバーコンピューティング
社会の急速な情報化に伴って機械学習やデータ解析の需要が高まる中で、非線形物理現象の過渡的な状態変化を利用することで低い計 ...
二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ
Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
電気等価回路を用いた静電櫛歯トランスデューサの解析
静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されて ...
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力測定
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の設計およびその信頼性の定量的な評価には、微 ...
Al/Ni多層膜の自己伝播発熱反応を用いたMEMS振動デバイスの真空封止
角速度センサや共振ミラー等のMEMSデバイスを真空雰囲気に封止する新技術の研究を行っています。
(100) 単結晶シリコン寸法補償同調型リングジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ
超小型宇宙機に搭載可能な新たな推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ（ILEST）の開発を行って ...
一本鎖DNA修飾によるSWCNTの高収率孤立架橋アセンブル手法
本研究では優れた電気・機械的特性を持つ単層カーボンナノチューブ(SWCNT)のばらつきを含む特性評価を目的とし，SWC ...
Developing MEMS Tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
MEMS technology provide us low cost, high functionality, sma ...
MEMSマイクロミラーアレイの同期振動
MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で、内視鏡・Lidar等の空間走査システムへ ...