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原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化,低消費電力化に加えて,測定性能の向上が期待されています.当研究室では ...
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ナノ共振器はナノスケールの幅寸法を有する梁を用いた振動子のことであり、タンパク質量や原子間力といった微小な物理量を測定す ...
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 ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです.近年では車載用測距センサ用に用いられること ...
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熱電子発電では電極間に温度差を与え放出される電子を回収して発電を行う.通常熱電子発電には1000 ℃以上の高温が必要だが ...
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We developed a microelectromechanical system (MEMS) to fabri ...
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過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには,機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です.MEMSで広 ...
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MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の設計およびその信頼性の定量的な評価には、微 ...
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A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
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The purpose of this research is to realize high fracture str ...
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熱電子発電は,高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行う.エミッタとコレクタの距離をナノスケ ...
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近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている.そんな中小型 ...