News

  • 学会発表 2022年11月6日
    2023/1/15-19 The 36th International Conference on ...
  • 日本機械学会誌特集『超精密加工の最前線』 2022年10月11日
    機械学会誌10月号『超精密加工の最前線』はマイクロ・ナノ工学部門の10周年を記念した関連記事が掲載さ ...
  • 博士論文公聴会 2022年8月2日
    8/10(水)午後1時より夏 园林 (Xia, Yuanlin)君の博士学位論文公聴会を開催いたします。...
  • マイクロナノ先端技術交流会 2022年7月15日
    7/27(水)第42回マイクロナノ先端技術交流会にて土屋教授が「MEMSリザバーコンピューティング」と題する講演を行います。...
  • Yano E plus 2022年6月17日
    矢野経済研究所の刊行するYano E plus の2022年6月号(No.171)掲載の「MEMS技術シリーズ(1)~総論~」のなかで 土屋研のMEMS研究を紹介していただきました。...

 

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近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣する ...
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せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,作製し高い負荷周波数での引 ...
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X線1分子動態計測法は,標的イオンチャネルに修飾した金ナノ結晶に白色X線を照射し,金ナノ結 ...
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Comparing with the mature SOI-based micro mir ...
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Siで構成されるMEMSアクチュエータと,構造を封止する透明材料の接合プロセスとして水蒸気 ...
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A geometrical compensation design method in ( ...
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単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.
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Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
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角速度センサや共振ミラー等のMEMSデバイスを真空雰囲気に封止する新技術の研究を行っていま ...
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DNAオリガミ混合物を精製するため誘電泳動を用いたマイクロ流体デバイスを提案し,デバイスの ...
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単結晶シリコンのへき開破壊によるナノギャップ形成と,ギャップ間隔制御,電流計測が可能なデバ ...