単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイス
近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chip ...
ナノギャップを用いた熱電子発電
熱電子発電では,電極間に温度差を与え放出された熱電子を回収することで発電を行う.通常は熱電子の放出に1000℃以上の高 ...
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには,機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です.MEMSで広 ...
経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイスの開発
近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chip ...
(100) 単結晶シリコン寸法補償同調型リングジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
低温熱電子発電のためのシリコンナノギャップ電気伝導特性測定評価
半導体微細加工技術を用いて作製した単結晶シリコンMEMSデバイスの梁構造に(111)面でへき開破壊を用いて数μm角の均一 ...
ナノギャップ創製デバイス
電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と,真空による高い熱絶縁性により,真空ナノギャップを熱と電気を高効 ...
周波数領域サーモリフレクタンス
微細化が進展する半導体産業など、広範な領域において必要とされるにも関わらず、ナノ・マイクロスケールでの伝熱現象はその熱計 ...
バルクSiとSOIで作製したマイクロミラーの信頼性
Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, ...
MEMS リザバーコンピューティング
リザバーコンピューティング(RC)は学習コストが小さい機械学習手法であり, 分散された情報端末に実装することでネットワー ...
Al/Ni多層膜の自己伝播発熱反応を用いたMEMS振動デバイスの真空封止
角速度センサや共振ミラー等のMEMSデバイスを真空雰囲気に封止する新技術の研究を行っています。






