Tensile behaviors of micron-scaled silicon structure fully coated with sub-micro meter thick DLC film deposited using PECVD
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...
単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture str ...
共振型加速度センサを用いた MEMSリザバーコンピューティング
非線形物理ダイナミクスを計算資源として活用できるリザバーコンピューティングはポスト・ムーアのコンピューティング技術の１つ ...
Geometrical Compensation for Mode-Matching of (100) Silicon Ring Resonator for Vibratory Gyroscope
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
周波数領域サーモリフレクタンス
微細化が進展する半導体産業など、広範な領域において必要とされるにも関わらず、ナノ・マイクロスケールでの伝熱現象はその熱計 ...
MEMS結合振動子によるリザバーコンピューティング
ニューロモーフィック・コンピューティングのハードウェア実装手法において，リザーバーコンピューティング（RC）は、有力な候 ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
In order to shorten testing time on tensile-mode fatigue tes ...
シリコンナノワイヤを用いたねじり梁型共振ミラー
ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです．近年では車載用測距センサ用に用いられること ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．弾性 ...
(100) 単結晶シリコン寸法補償同調型リングジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
一本鎖DNAを修飾したSWCNTの特性評価
SWCNT（単層カーボンナノチューブ）は優れた機械特性を示すことが知られています．しかし，その小ささゆえに実験データは多 ...
単結晶シリコン薄膜の高温引張試験
MEMSの主な構造材料は，シリコン，シリコン化合物，金属薄膜などです． シリコンの機械的特性には温度依存性があることが知 ...