MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling cooling
A microelectromechanical system (MEMS) is being developed fo ...
アルカリ金属ガスセル作製プロセスの開発
原子固有の量子力学的な現象を利用したセンサは小型化，低消費電力化に加えて，測定性能の向上が期待されています．当研究室では ...
イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発
Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
リザバー計算技術を用いた知能共振加速度センサの開発
MEMSセンサの小型化と知能化を目指し, 加速度センサ内部の梁の微小振動を計算資源として利用可能なリザバーコンピューテ ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．
ひずみゲージ集積型単結晶シリコン並列引張試験
単結晶シリコンマイクロ構造の引張疲労破壊特性を短い時間で測定する方法として，集積したひずみゲージを用いた並列引張試験方法 ...
Training MEMS devices for forecasting epileptic-seizures
Epilepsy is a chronic neurological disorder of the central n ...
Geometrical Compensation for Mode-Matching of (100) Silicon Ring Resonator for Vibratory Gyroscope
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
ナノギャップを用いた熱電子発電
熱電子発電では，電極間に温度差を与え放出された熱電子を回収することで発電を行う．通常は熱電子の放出に1000℃以上の高 ...
MEMS リザバーコンピューティング
リザバーコンピューティング(RC)は学習コストが小さい機械学習手法であり, 分散された情報端末に実装することでネットワー ...
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー
眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため，リアルタイムかつ精密に補正する必要があり，その手法として，変形さ ...
3軸加速度センサのマトリックス感度校正
3軸加速度センサの感度をベクトル量で表す「マトリックス感度校正」が提案されています．本手法の実用化のためには複数個のセン ...