What’s new

 

Thumbnail of post image 054

電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と,真空による高い熱絶縁性により,真 ...
Thumbnail of post image 139

A Nanoscale mechanical resonator can be used ...
Thumbnail of post image 103

近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣する ...
Thumbnail of post image 174

せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,作製し高い負荷周波数での引 ...
Thumbnail of post image 179

X線1分子動態計測法は,標的イオンチャネルに修飾した金ナノ結晶に白色X線を照射し,金ナノ結 ...
Thumbnail of post image 095

Comparing with the mature SOI-based micro mir ...
Thumbnail of post image 120

Siで構成されるMEMSアクチュエータと,構造を封止する透明材料の接合プロセスとして水蒸気 ...
Thumbnail of post image 153

A geometrical compensation design method in ( ...
Thumbnail of post image 068

単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.
Thumbnail of post image 193

Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
Thumbnail of post image 039

角速度センサや共振ミラー等のMEMSデバイスを真空雰囲気に封止する新技術の研究を行っていま ...