ナノギャップ創製デバイス
電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と，真空による高い熱絶縁性により，真 ...
Nanoscale mechanical resonators for mass-sensing applications
A Nanoscale mechanical resonator can be used ...
経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイス
近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣する ...
熱電子発電のための へき開面間の電子放出の温度依存性評価
Evaluate the temperature dependence of the el ...
せん断型ひずみゲージ集積化単結晶Si並列引張試験デバイス
せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計，作製し高い負荷周波数での引 ...
X線１分子動態計測用観測チャンバの開発
X線１分子動態計測法は，標的イオンチャネルに修飾した金ナノ結晶に白色X線を照射し，金ナノ結 ...
バルクSiとSOIで作製したマイクロミラーの信頼性
Comparing with the mature SOI-based micro mir ...
マイクロ流路一体化MEMSデバイス
Siで構成されるMEMSアクチュエータと，構造を封止する透明材料の接合プロセスとして水蒸気 ...
(100) 単結晶シリコン寸法補償同調型リングジャイロ
A geometrical compensation design method in ( ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．
二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ
Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
Al/Ni多層膜の自己伝播発熱反応を用いたMEMS振動デバイスの真空封止
角速度センサや共振ミラー等のMEMSデバイスを真空雰囲気に封止する新技術の研究を行っていま ...