電気等価回路解析を利用した静電容量型ジャイロの開発
本研究では,電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています.静電容量型MEMSデバイ ...
イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発
Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
物理リザバーコンピューティングへの実装に向けた熱音響位相変調器の開発
物理リザバーコンピューティングへの応用を目指し熱音響位相変調器の設計開発し、それを物理リザバーシステムへ実装し学習性能を ...
熱電子発電のための へき開面ナノギャップの熱輸送特性評価
熱電子発電は高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し,発電を行う.本来,熱電子発電では1000℃程度 ...
静電可変形状ミラーデバイス
Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects t ...
せん断型ひずみゲージ集積化 単結晶シリコンマイクロ構造並列引張試験デバイス
単結晶シリコンマイクロ構造について多数の試験片の引張疲労試験を短時間で行うためのデバイス開発を行っております.本研究では ...
モードマッチ(100)Siリングジャイロ
近年、IoT社会の到来でセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS円環型振動ジャイロが注目されています。先行研 ...
MEMSリザバーコンピューティング
非線形物理ダイナミクスを計算資源として活用した物理リザバーコンピューティング(PRC)が注目されており, PRCを実装し ...
二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ
Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
Developing MEMS Tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
MEMS technology provide us low cost, high functionality, sma ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
Tensile behaviors of micron-scaled silicon coated with sub-micro meter thick PECVD DLC film
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...





