ナノギャップ創製デバイス

電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と，真空による高い熱絶縁性により，真空ナノギャップを熱と電気を高効率に直接変換できる素子として応用することが期待されている．ナノギャップ作製手法として単結晶シリコンのへき開破壊を提案する．へき開面は大気中においては自然酸化による状態変化が懸念される．本研究では真空中でへき開を行うことで清浄な対向面を有するナノギャップを作製し，そのナノギャップ間における電界電子放出電流のギャップ間隔依存性を測定することを目標として，荷重印加用外部機構，MEMSデバイスを製作した．

【応用先】