MEMS結合振動子を用いた機械学習の多元化
近年，高速かつ省消費電力な機械学習の実装方法として物理リザバーコンピューティング（PRC）が注目されています．本研究では ...
単結晶へき開面ナノギャップの物性
熱電子発電は，高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行います．エミッタとコレクタの距離をナノ ...
熱電子発電のためのナノギャップデバイス
単結晶シリコンのへき開破壊によるナノギャップ形成と，ギャップ間隔制御，電流計測が可能なデバイス
MEMSデバイスを用いたCarbon Nanotube引張試験
統計評価可能な測定数実現をめざし、カーボンナノチューブ（CNT）引張試験法を開発しています。CNTは極めて微小なため欠陥 ...
MXene/bentonite薄膜を用いた高感度湿度センサの開発
湿度センサーは現代技術に不可欠であり、優れた感度と精度を持つTi3C2Tx MXeneが広く利用されている。 Ti3C2 ...
非線形熱伝導現象を用いた物理リザバーコンピューティング
社会の急速な情報化に伴って機械学習やデータ解析の需要が高まる中で、非線形物理現象の過渡的な状態変化を利用することで低い計 ...
Tensile behaviors of micron-scaled silicon coated with sub-micro meter thick PECVD DLC film
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...
電気等価回路を用いた静電櫛歯トランスデューサの解析
静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されて ...
超小型人工衛星用イオン液体エレクトロスプレースラスタの開発
超小型人工衛星に搭載可能な新たなスラスタとしてイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)が注目されている。ILE ...
円筒型圧電振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型 ...
面取り矩形支持ばねを用いた(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの理論解析振動ジャイロの理論解析
小型で低価格なセンサの需要が高まる中，回転時に生じるコリオリ力により変化した振動方向の検出により角度や角速度を測定できる ...
Nanoscale mechanical resonators for mass-sensing applications
A Nanoscale mechanical resonator can be used as an efficient ...