経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイス
近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chip ...
熱電子発電のためのナノギャップデバイス
単結晶シリコンのへき開破壊によるナノギャップ形成と，ギャップ間隔制御，電流計測が可能なデバイス
(100)単結晶シリコンリングジャイロ
近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性 ...
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには，機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です．MEMSで広 ...
MXene/bentonite薄膜を用いた高感度湿度センサの開発
湿度センサーは現代技術に不可欠であり、優れた感度と精度を持つTi3C2Tx MXeneが広く利用されている。 Ti3C2 ...
単結晶へき開面ナノギャップの物性
熱電子発電は，高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行います．エミッタとコレクタの距離をナノ ...
リング型ジャイロの静電チューニング
MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります．静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にす ...
X線１分子動態計測用観測チャンバの開発
X線１分子動態計測法は，標的イオンチャネルに修飾した金ナノ結晶に白色X線を照射し，金ナノ結晶からのX線回折点の運動を動画 ...
ダイヤモンドNEMS共振器デバイスの作成に向けたナノパターニングおよびドライエッチングプロセスの検討
ナノファブリケーション技術は驚異的なペースで進化し、デバイスの微細化、高集積化、高感度化、低消費電力化を可能にしています ...
シリコンマイクロ構造体の信頼性評価
MEMSデバイスの構造材料として，半導体材料であるシリコンは広く用いられていますが，脆性材料であることからその機械的信頼 ...
超高感度ガスセンサに向けた極薄シリコン振動子
Nano-scale mechanical resonator devices are considered poten ...
Training MEMS devices for forecasting epileptic-seizures
Epilepsy is a chronic neurological disorder of the central n ...