X線１分子動態計測用観測チャンバの開発
X線１分子動態計測法は，標的イオンチャネルに修飾した金ナノ結晶に白色X線を照射し，金ナノ結晶からのX線回折点の運動を動画 ...
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには，機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です．MEMSで広 ...
3軸加速度センサのマトリックス感度校正
3軸加速度センサの感度をベクトル量で表す「マトリックス感度校正」が提案されています．本手法の実用化のためには複数個のセン ...
(100)単結晶シリコンリングジャイロ
近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性 ...
バルクSiとSOIで作製したマイクロミラーの信頼性
Comparing with the mature SOI-based micro mirror resonator, ...
ダイヤモンドNEMS共振器デバイスの作成に向けたナノパターニングおよびドライエッチングプロセスの検討
ナノファブリケーション技術は驚異的なペースで進化し、デバイスの微細化、高集積化、高感度化、低消費電力化を可能にしています ...
へき開破壊によるナノギャップ創製
近年，ナノギャップ電極が高い熱電発電効率を実現するという報告があり，熱発電デバイスへの応用が期待されています．そのため， ...
低温熱電子発電のためのシリコンナノギャップ電気伝導特性測定評価
半導体微細加工技術を用いて作製した単結晶シリコンMEMSデバイスの梁構造に(111)面でへき開破壊を用いて数μm角の均一 ...
シリコンナノワイヤを用いたねじり梁型共振ミラー
ねじり梁型共振ミラーはレーザーの反射角度を変えて空間を走査するデバイスです．近年では車載用測距センサ用に用いられること ...
熱電子発電のための へき開面間の電子放出の温度依存性評価
Evaluate the temperature dependence of the electron emission ...
面取り矩形支持ばねを用いた(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの理論解析振動ジャイロの理論解析
小型で低価格なセンサの需要が高まる中，回転時に生じるコリオリ力により変化した振動方向の検出により角度や角速度を測定できる ...
リザバーSAWデバイスの開発
物理ダイナミクスを計算資源として活用する物理リザバーコンピューティングと端末側に情報処理の役割を担わせるエッジコンピュー ...