Developing MEMS Tuning fork gyroscope with low acceleration sensitivity
MEMS technology provide us low cost, high functionality, sma ...
MEMSリザバーコンピューティング
非線形物理ダイナミクスを計算資源として活用した物理リザバーコンピューティング(PRC)が注目されており, PRCを実装し ...
非線形熱伝導現象を用いた物理リザバーコンピューティング
社会の急速な情報化に伴って機械学習やデータ解析の需要が高まる中で、非線形物理現象の過渡的な状態変化を利用することで低い計 ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
CNT-TFT応答電流による物理リザバー評価
物理リザバーコンピューティングは、時系列信号を低電力かつ高速で処理できる機械学習法です。本研究では、カーボンナノチューブ ...
Training MEMS devices for forecasting epileptic-seizures
Epilepsy is a chronic neurological disorder of the central n ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
Si振動子の時間分解顕微ラマン応力測定
顕微ラマン分光法を用いて単結晶シリコン面外振動試験片に生じる動的局所応力の時間分解測定を目的としています.動的応力の時間 ...
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー
眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため,リアルタイムかつ精密に補正する必要があり,その手法として,変形さ ...
(100) Si円環型振動ジャイロ
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
Diamond nanoresonators for sensing and information processing
Nanoresonators are capable of ultrasensitive sensing and eff ...
10×10静電容量型加速度センサアレイ
静電容量型加速度センサは携帯電話,自動車など幅広く利用されています.本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです.こ ...





