周波数領域サーモリフレクタンス

微細化が進展する半導体産業など、広範な領域において必要とされるにも関わらず、ナノ・マイクロスケールでの伝熱現象はその熱計測の困難さもあり未だ体系的な理解がなされていない。伝熱現象の解明に向け、まずは計測手法の確立が求められている。我々は、ナノ・マイクロスケールの試料にも適用可能な、レーザを用いた非接触で高精度な熱物性計測手法である周波数領域サーモリフレクタンス法のさらなる高精度化を目指し研究に取り組んでいる。従来は測定が困難であった熱伝導率の低い試料の測定を可能にする手法を提案した。

学会発表

•安倉祐樹, 太田泰輔, 廣谷潤, 「周波数領域サーモリフレクタンス法による熱物性計測手法の高精度化」, 第53回炭素材料夏季セミナー, 2022年9月1-2日, 京都.

•Yuki Akura, Amit Banerjee, Toshiyuki Tsuchiya, and Jun Hirotani, “Highly sensitive thermophysical property measurement for anisotropic materials using frequency-domain thermoreflectance with transducer patterning”, The 64^th Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium, March 1-3, 2023, Nagoya, Japan.