熱電子発電のためのナノギャップデバイス

　真空ナノギャップを用いた熱電子発電は，真空により熱輸送量が低減できること，ギャップ間の電子移動にトンネル効果が寄与することでより大きな電流が得られることから，小型で高効率な発電方法として期待されている．大面積かつ平行平滑面を有するナノギャップを作製する手法として，我々は単結晶シリコンのへき開破壊を提案した．本研究では，単結晶シリコンのへき開破壊によるナノギャップ形成と，ギャップ間隔制御，電流計測が可能なデバイス，システムにより，真空中におけるへき開ナノギャップの評価を行った．

【応用先】 •　熱発電デバイス •　ナノスケールの冷却素子