顕微ラマン分光を用いたへき開面ナノギャップの温度差測定

真空ナノギャップ電極は通常の物質では困難な熱発電効率を飛躍的に向上し得るとして注目されているが、従来の方法で作製できるナノギャップ電極の対向面は平行平滑でなく、面積も小さい。そのため、発電量が小さいという問題が存在した。本研究では、MEMSデバイスを用いて試験片をへき開破壊することで大面積平行平滑面を有し、ギャップ間隔が数百nmのナノギャップ電極を作製することに成功し、ギャップの温度差を顕微ラマン分光法によって測定した。

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