3軸加速度センサのマトリックス感度校正

3軸加速度センサの感度をベクトル量で表す「マトリックス感度校正」が提案されています.本手法の実用化のためには複数個のセンサを並べて同時に測定する技術が必要です.本研究では測定の際に問題となる振動台の回転運動や各センサの取付位置関係の影響評価,補正に取り組んでいます.

応用先

  •  高精度加速度測定(慣性計測機器,地下資源探査,地震計測)
  •  横感度を考慮したMEMS加速度センサの設計指針

[主な研究発表]

  • Nakano et. al, IEEE MEMS 2013, pp.645-648.

2014年10月1日Research,Sensor