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Organ on a Chip is a microfluidic device to c ...
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シリコンへき開破壊によって作製したナノギャップ間電子放出の温度依存性評価を行う
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せん断型ひずみゲージを集積化した並列引張疲労試験デバイスを設計,作製し高い負荷周波数での引 ...
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Diffracted X-ray Tracking (DXT) method is rea ...
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Comparing with the mature SOI-based micro mir ...
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Siで構成されるMEMSアクチュエータと,構造を封止する透明材料の接合プロセスとして水蒸気 ...
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単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した.
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through-hole dry etching with Ni electroplate ...
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Microfluidic device by using dielectrophoresi ...
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Devices and an external mechanism capable of ...