単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには，機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です．MEMSで広 ...
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー
眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため，リアルタイムかつ精密に補正する必要があり，その手法として，変形さ ...
周波数領域サーモリフレクタンス
微細化が進展する半導体産業など、広範な領域において必要とされるにも関わらず、ナノ・マイクロスケールでの伝熱現象はその熱計 ...
熱電子発電のための へき開面ナノギャップの熱輸送特性評価
熱電子発電は高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し，発電を行う．本来，熱電子発電では1000℃程度 ...
10×10静電容量型加速度センサアレイ
静電容量型加速度センサは携帯電話，自動車など幅広く利用されています．本研究の目的はこのセンサの高感度化を行うことです．こ ...
単結晶へき開面ナノギャップMEMSデバイス
熱電子発電は，高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行う．エミッタとコレクタの距離をナノスケ ...
円筒型圧電振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている．そんな中小型 ...
Geometrical Compensation for Mode-Matching of (100) Silicon Ring Resonator for Vibratory Gyroscope
A geometrical compensation design method in (100) single cry ...
二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ
超小型宇宙機に搭載可能な新たな推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ（ILEST）の開発を行って ...
単結晶シリコン製マイクロミラーの信頼性
The purpose of this research is to realize high fracture str ...
DNAオリガミ複合体精製用マイクロ流体デバイス
DNAオリガミ混合物を精製するため誘電泳動を用いたマイクロ流体デバイスを提案し，デバイスの試作を行った．
単結晶へき開面ナノギャップの物性
熱電子発電は，高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行います．エミッタとコレクタの距離をナノ ...