ナノギャップ創製デバイス
電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と，真空による高い熱絶縁性により，真空ナノギャップを熱と電気を高効 ...
周波数領域サーモリフレクタンス
近年の半導体デバイスの微細化に伴い、ナノ・マイクロスケールでの伝熱現象の重要性は増大しているが、ナノ・マイクロスケールで ...
静電型ピストンアレイ駆動のMEMS可変形状ミラーの開発
眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため，リアルタイムかつ精密に補正する必要があり，その手法として，変形 ...
面取り矩形支持ばねを用いた(100)単結晶シリコンリング型振動ジャイロの理論解析振動ジャイロの理論解析
小型で低価格なセンサの需要が高まる中，回転時に生じるコリオリ力により変化した振動方向の検出により角度や角速度を測定できる ...
一本鎖DNA修飾CNTの電気・機械特性評価
カーボンナノチューブ（CNT）は興味深い特性を併せ持つことから微小な電気回路やセンサの構成要素としての応用が期待されてい ...
Ultrathin Si resonator for gas sensing
Nano-scale mechanical resonator devices have emerged as prom ...
ナノスケール材料引張試験用静電容量型MEMSデバイス
カーボンナノチューブ（CNT）やフラーレン（C60）に代表されるカーボンナノ材料の機械的性質評価について研究しています． ...
(100)単結晶シリコンリングジャイロ
近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性 ...
シリコンマイクロ構造体の信頼性評価
MEMSデバイスの構造材料として，半導体材料であるシリコンは広く用いられていますが，脆性材料であることからその機械的信頼 ...
MEMSリザバーコンピューティング
非線形物理ダイナミクスを計算資源として活用した物理リザバーコンピューティング(PRC)が注目されており, PRCを実装し ...
経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイス
近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chip ...
二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ
Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工