単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...
架橋構造シリコンナノワイヤのMEMS集積化と引張強度評価
シリコンナノワイヤ(SiNW)は優れた機械的・電気的特性を有することから，これを構造体要素として用いた幅広い応用デバイス ...
シリコンナノ共振器のQ値
ナノ共振器はナノスケールの幅寸法を有する梁を用いた振動子のことであり、タンパク質量や原子間力といった微小な物理量を測定す ...
静電可変形状ミラーデバイス
Adaptive optics (AO) is a significant device that corrects t ...
MEMS fabricated conformal electrodes for thermotunneling cooling
A microelectromechanical system (MEMS) is being developed fo ...
Tensile behaviors of micron-scaled silicon structure fully coated with sub-micro meter thick DLC film deposited using PECVD
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...
物理リザバーコンピューティングへの実装に向けた熱音響位相変調器の開発
物理リザバーコンピューティングへの応用を目指し熱音響位相変調器の設計開発し、それを物理リザバーシステムへ実装し学習性能を ...
ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ
MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．弾性 ...
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー
眼底を観察する際に光の収差を補正するデバイスとして可変形状ミラーが用いられます．当研究室では従来の静電駆動による可変形状 ...
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力測定
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の設計およびその信頼性の定量的な評価には、微 ...
静電型ピストンアレイ駆動MEMS可変形状ミラー
眼底検査の検査光は眼球の歪み等により波面収差を持つため，リアルタイムかつ精密に補正する必要があり，その手法として，変形さ ...
MEMS振動子アレイのモード局在化とリザバー計算
近年、高速かつ省消費電力な機械学習の実装方法として物理リザバーコンピューティング（PRC）が注目されています。本研究では ...