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News
学会発表
2023年11月29日
2024/1/21-25 The 37th International Conference on ...
論文掲載-JJAP
2023年11月23日
博士3年霜降真希君の執筆した論文がJJAPに掲載されました...
日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門2022年度表彰
2023年11月20日
11/6-9に熊本で開催された第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウムにて2022年度の日本機械学会マ ...
論文掲載-Sensors and Actuators A:Physical
2023年10月8日
アモルファスカーボンを被覆することで単結晶シリコン振動子のねじり強度を向上させた研究についての論文がSensors and Actuators A: Physical に掲載されました。...
論文掲載-Microsystem Technologies
2023年5月17日
表面弾性波素子を用いた物理リザバーコンピューティングに関する論文がMicrosystem Technologiesに掲載されました。...
顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力測定
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の設計およびその信頼性の定量的な評価には、微 ...
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