MEMSマイクロミラーアレイの同期振動

MEMSミラーは鏡の両側にある支持梁のねじれ振動にて反射光を走査する光学素子で、内視鏡・Lidar等の空間走査システムへの応用に向け高性能化が望まれています。しかし、現状鏡面のゆがみや梁応力により性能に限界があります。本研究では、鏡部縮小とねじれ梁細線化により鏡面のゆがみや梁応力を低減し、ミラーをアレイ配置して反射面積を補償し、ミラーアレイを同期振動させることで高性能な空間走査システム実現を目指しています。

学会発表

大木 幹也, 中村 友哉, Banerjee Amit, 廣谷 潤, 土屋 智由
同期振動実現に向けたMEMSチルトミラーアレイの設計
第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム,アスティとくしま,徳島,2022年11月14-16日,15P2-PN-17

Actuators,ResearchMirror,Torsion