ニオブ酸リチウム単結晶ディスク圧電ジャイロ

MEMS振動ジャイロの大幅な性能向上を目的として単結晶ニオブ酸リチウムを用いた圧電ディスク型振動ジャイロを提案した．弾性特性，圧電特性において結晶異方性を有するニオブ酸リチウムでモードマッチングしたワイングラス振動を実現するため，最適結晶方位155° Y-cutウエハと独自の電極配置を採用した．Force-to-rebalance コントロールシステムを利用して、角速度感度は 3.3 µV/°/s となった．

【応用先】

  • ジャイロセンサ
  • 圧電ディスク振動子　

【学会発表・論文】

  • K. Obitani, T. Tsuchiya, K. Araya, M. Yachi, 45th International Conference onMicro & Nano Engineering (MNE2019), Rhodes, Greece (September 23-26, 2019)
  • K. Obitani, T. Tsuchiya, K. Araya, M. Yachi, The 33rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2020), Vancouver, Canada (January 18-22, 2020)
  • Kazutaka Obitani, Kazutaka Araya, Masanori Yachi, Toshiyuki Tsuchiya, Piezoelectric Disk Gyroscope Fabricated with Single-Crystal Lithium Niobate
    Journal of  Microelectromechanical Systems, availavle online (2021). DOI: 10.1109/JMEMS.2021.3063101

Research,SensorGyroscope,lithium niobate