ナノギャップ創製デバイス
電極間の熱電子放出による電子移動における量子効果の寄与と，真空による高い熱絶縁性により，真空ナノギャップを熱と電気を高効 ...
MEMS結合振動子によるリザバーコンピューティング
ニューロモーフィック・コンピューティングのハードウェア実装手法において，リザーバーコンピューティング（RC）は、有力な候 ...
二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ
Niめっき膜をマスクとしたガラスの貫通穴加工
電気等価回路解析を利用した静電容量型ジャイロの開発
本研究では，電気等価回路解析により制御電圧を含めた静電容量型ジャイロの最適設計を目指しています．静電容量型MEMSデバイ ...
超高感度ガスセンサに向けた極薄シリコン振動子
Nano-scale mechanical resonator devices are considered poten ...
電気等価回路を用いた静電櫛歯トランスデューサの解析
静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されて ...
リング型ジャイロの静電チューニング
MEMS振動ジャイロの性能向上には振動子の剛性を等方的にする必要があります．静電チューニングとは振動子の剛性が等方的にす ...
DLC膜で被覆したシリコンの引張試験
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising ...
MEMS結合振動子を用いた機械学習の多元化
近年，高速かつ省消費電力な機械学習の実装方法として物理リザバーコンピューティング（PRC）が注目されています．本研究では ...
(100)単結晶シリコンリングジャイロ
近年、IoT社会の到来によりセンサの小型化・低価格化が期待されている中、MEMS振動リング型ジャイロは小型・低価格・高性 ...
MEMSを用いて作製したナノギャップ電極
We have developed a microelectromechanical system (MEMS) to ...
単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度
単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり，MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です ...