単結晶へき開面ナノギャップの物性
熱電子発電は,高温のエミッタから放出される熱電子を対向するコレクタで回収し発電を行います.エミッタとコレクタの距離をナノ ...
単結晶シリコンマイクロ構造の高温機械特性
過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには,機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です.MEMSで広 ...
経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイス
近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chip ...
経上皮電気抵抗(TEER)測定マイクロ流体デバイスの開発
近年,マイクロ流体デバイス内でヒト由来細胞を培養し,生体外でヒトの生体機能を高度に模倣するOrgan on a Chip ...
DNAオリガミ複合体精製用マイクロ流体デバイス
DNAオリガミ混合物を精製するため誘電泳動を用いたマイクロ流体デバイスを提案し,デバイスの試作を行った.
圧電円筒型振動ジャイロの開発
近年、車やドローンなどの自動運転に注目が集まり、その実現に重要なジャイロの小型化・低価格化が期待されている.そんな中小型 ...
MEMSマイクロミラーの信頼性
ねじり梁を用いたMEMSミラーはセンサーやメディアデバイスに用いられる重要な要素部品です. MEMSミラーは基板材料とし ...
超高感度ガスセンサに向けた極薄シリコン振動子
Nano-scale mechanical resonator devices are considered poten ...
Tensile behaviors of micron-scaled silicon coated with sub-micro meter thick PECVD DLC film
DLC (Diamond Like Carbon) film is one of the promising coati ...
二段電極型イオン液体エレクトロスプレースラスタ
超小型宇宙機に搭載可能な新たな推進機として注目されているイオン液体エレクトロスプレースラスタ(ILEST)の開発を行って ...
熱電子発電のためのナノギャップデバイス
単結晶シリコンのへき開破壊によるナノギャップ形成と,ギャップ間隔制御,電流計測が可能なデバイス
MEMSを用いて作製したナノギャップ電極
We have developed a microelectromechanical system (MEMS) to ...